微細 加工 技術
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概要
微細 加工 技術 の種類
フォトリソグラフィ
ステッパーによる
電子 線 による直接 描画
ナノインプリンティング
マスクレス リソグラフィ
パターンが
干渉 リソグラフィ
X線 リソグラフィ
集束 イオンビーム
多 光子 リソグラフィ
レーザー