LIGA
(LIGAプロセスから転送 )
LIGAとは、
フォトリソグラフィ (Lithographie)
という
1980
LIGAの
- 100:1オーダーの
高 アスペクト比 側面 壁 の角度 は89.95°側面 壁 の表面 粗 さはRa=10 nm程度 (光学 ミラーとして使用 できるレベル)構造 部 の高 さは数 十 μ mから数 mm程度 平面 方向 に数 センチにわたってミクロンスケールの微細 構造 体 を実現 できる
LIGAは
- X-
線 LIGA
- UV-LIGA
- シリコン-LIGA シリコンの
加工 にDRIEを使用 する。- サンディア
国立 研究所 の研究 者 達 が1990年代 から2000年代 初頭 にかけて開発 した。
- サンディア
脚注
- ^
現在 の名称 : Forschungszentrum Karlsruhe (Karlsruhe Research Center) - ^
現在 の名称 /後継 機関 : Institute for Microstructure Technology (Institut für Mikrostrukturtechnik) IMT - ^ LIGA プロセス―マイクロデバイスへの
応用 と今後 の展望 ― - ^ Becker, E. W.; Ehrfeld, W.; Münchmeyer, D.; Betz, H.; Heuberger, A.; Pongratz, S.; Glashauser, W.; Michel, H. J. et al. (1982). “Production of Separation-Nozzle Systems for Uranium Enrichment by a Combination of X-Ray Lithography and Galvanoplastics”. Naturwissenschaften 69 (11): 520–523. doi:10.1007/BF00463495.
- ^ E. W. Becker; W. Ehrfeld; P. Hagmann; A. Maner; D.
Munchmeyer (1986
年 5月 ). “Fabrication of microstructures with high aspect ratios and great structural heights by synchrotron radiation lithography, galvanoforming, and plastic moulding (LIGA process)”. Microelectronic Engineering 4 (1): 35-56. doi:10.1016/0167-9317(86)90004-3. - ^ P. Hagmann; W. Ehrfeld (1989
年 ). “Fabrication of Microstructures of Extreme Structural Heights by Reaction Injection Molding”. International Polymer Processing (Hanser Publishers) 4 (3): 188-195. doi:10.3139/217.890188.
外部 リンク
- LIGA - サンディア
国立 研究所 - LiMiNT - LIGA プロセス - シンガポール
放射光 源 - The International LIGA interest group
- LIGA at Sandia, Livermore
- LIGAビームライン|
施設 概要 |ニュースバル放射光 施設