ASM on Alankomaissa pääkonttoriaan pitävä monikansallinen puolijohdeteollisuuden tuotantokoneiden valmistukseen ja kehitykseen keskittynyt yritys. ASM on lyhenne sanoista "Advanced Semiconductor Materials". Yrityksen tuotteet ovat keskittyneet piikiekoille valmistettavien tietokonetekniikkan laitesiruissa (device) tarvittavien ohutkalvojen kasvattamiseen ja käsittelyyn. Yrityksen on perustanut vuonna 1968 Arthur del Prado (1931-2016) ja hänen poikansa Chuck del Prado jatkoi yrityksen johtajana (CEO) vuoteen 2020 saakka. Nykyään CEO on Benjamin Loh ja yrityksellä on toimintaa 15 paikkakunnalla. Vuonna 2021 yrityksen tulos oli lähes 500 miljoonaa euroa. Yrityksen osakkeet ovat noteerattu Euronext pörssissä vuodesta 1996. Vuodesta 2020 alkaen yritys on sisältynyt AEX-indeksiin. Nasdaqissa yritys oli vuosina 1981-2015 nimellä ASMI (ASM International).[1]
Vuonna 1999 ASM International osti Suomesta Nesteen tytäyrityksen Mikrokemia Oy:n. Mikrokemia Oy (eng. Microchemistry) syntyi vuonna 1987 ja sen toimitusjohtajaksi tuli Tuomo Suntola. Yritys kehitti atomikerroskasvatus-menetelmää öljynjalostusproseissa käytettävien katalyyttien ja ohutkalvoaurinkokennojen valmistukseen. Sven Lindfors kehitti lasiputkeen rakennetun ja tutkimuskäyttöön sopivan ALD-reaktorin F120. Näitä toimitettiin tutkimuslaitoksille ympäri maailmaa ja joitakin on vielä käytössä 2020-luvulla. 90-luvun lopulla alettiin kehittää Suvi Haukan johdolla High-k-eristettämikroprosessoreiden transistorirakenteisiin. Prosessoreiden pakkaustiheyden kasvaessa vuotovirrasta alkoi tulla ongelma ja piidioksidikalvo transistorin gate-eristeenä piti korvata paremmin toimivalla. Samalla alettiin kehittää piikiekkojen pinnnoittamiseen ALD-koneita. Tämä työ johti ASM:n kiinnostumiseen Mikrokemiasta. Vuonna 2007 Intel ilmoitti ottaneensa käyttöön ALD-prosessin tuotantokäyttöön hafniumoksidikalvon tuottamisessa. Koneena oli Pulsar-sarjan ALD-reaktorit, joiden kehitystyö oli tehty Suomessa ja toimittajana oli ASM. Nykyään ASM Microchemistry toimii Helsingin yliopiston kampus alueella ja tekee paljon yhteistyötä Kemianlaitoksen kanssa.[2][3][4][5][6]
