三甲さんこう基もと硅烷

三甲さんこう基もと硅烷
识别
CAS号ごう	993-07-7
ChemSpider	63614
SMILES	C[SiH](C)C;
性せい质
化学かがく式しき	C3H10Si
摩ま尔质量りょう	74.2 g·mol−1
密度みつど	0.638 g cm-3
熔点	-135.9 °C（137 K）
沸点ふってん	6.7 °C（280 K）
危险性せい
警示术语	R：R12, R36/37/38
安全あんぜん术语	S：S9, S16, S26, S33
欧おう盟めい分ぶん类	F
NFPA 704	4 2 1
	若わか非ひ注ちゅう明あかり，所有しょゆう数すう据すえ均ひとし出自しゅつじ标准状じょう态（25 ℃，100 kPa）下した。

三甲さんこう基もと硅烷或ある三甲基硅化氢，是ぜ一いち种有ゆう机つくえ硅化合かごう物ぶつ，化学かがく式しき为C₃H₁₀Si，结构简式(CH₃)₃SiH。它是一种极易燃的物质。三甲基硅烷用于半はん导体工こう业中的てき等とう离子相しょう腐くさ蚀剂。^[1]

参まいり见

^ Chen, Sheng-Wen; Wang, Yu-Sheng; Hu, Shao-Yu; Lee, Wen-Hsi; Chi, Chieh-Cheng; Wang, Ying-Lang. A Study of Trimethylsilane (3MS) and Tetramethylsilane (4MS) Based αあるふぁ-SiCN:H/αあるふぁ-SiCO:H Diffusion Barrier Films. Materials. 2012, 5 (3): 377. doi:10.3390/ma5030377.