一台商业化原子力显微镜装置
原子力 げんしりょく 显微镜激光 こう 束 たば 反射 はんしゃ 探 さがせ 测原理 げんり
第 だい 一台原子力显微镜
高 こう 曲 きょく 率 りつ 样品产生的 てき 成 なり 像 ぞう 假 かり 像 ぞう
陡峭样品产生的 てき 成 なり 像 ぞう 假 かり 像 ぞう
原子力 げんしりょく 显微镜 (英語 えいご :Atomic Force Microscope ,简称AFM ),也称扫描力 りょく 显微镜 (英語 えいご :Scanning Force Microscope ,SFM )是 ぜ 一 いち 种纳米级 高 こう 分 ぶん 辨 べん 的 てき 扫描探 さがせ 针显微 ほろ 镜 ,优于光学 こうがく 衍射极限 1000倍 ばい 。原子力 げんしりょく 显微镜的前身 ぜんしん 是 ぜ 扫描隧道 すいどう 显微镜 ,是 ぜ 由 ゆかり IBM 苏黎士 し 研究 けんきゅう 实验室 しつ 的 てき 卡尔文 ぶん ·奎特 ,格 かく 尔德·宾宁和 わ 格 かく 勃 在 ざい 1986年 ねん 在 ざい 扫描隧道 すいどう 显微镜(STM, Scanning Tunnelling Microscope )的 てき 基 もと 础上设计而来。
格 かく 爾 なんじ 德 とく ·賓 まろうど 寧 やすし 、魁 さきがけ 特 とく (Calvin Quate)和 かず 格 かく 勃(Gerber)于1986年 ねん 发明第 だい 一台原子力显微镜,而第一台商业化原子力显微镜于1989年生 ねんせい 产的。AFM是 ぜ 在 ざい 纳米尺度 しゃくど 操作 そうさ 材料 ざいりょう ,及其成 なり 像 ぞう 和 わ 测量 最 さい 重要 じゅうよう 的 てき 工具 こうぐ 。信 しん 息 いき 是 ぜ 通 どおり 过微 ほろ 悬臂感受 かんじゅ 和 わ 悬臂上 じょう 尖 とんが 细探针的表面 ひょうめん 的 てき “感 かん 觉”来 らい 收集 しゅうしゅう 的 てき ,而压电 元 もと 件 けん 可 か 以控制 せい 样品或 ある 扫描器 き 非常 ひじょう 精 せい 确的微小 びしょう 移 うつり 动,用 よう 导电悬臂(cantilever)和 かず 导电原子力 げんしりょく 显微镜附件 けん 则可以测量 りょう 样品的 てき 电流偏 へん 压 ;更 さら 高 だか 级的仪器则可以测试探针上的 てき 电流来 らい 测试样品的 てき 电导率 りつ 或 ある 下表 かひょう 面 めん 的 てき 电子 的 まと 移 うつり 动,不 ふ 过这种测试是非常 ひじょう 艰难的 てき ,只 ただ 有 ゆう 个别实验室 しつ 报道了 りょう 一致 いっち 的 てき 数 すう 据 すえ 。[1] 利用 りよう 微 ほろ 悬臂感受 かんじゅ 和 わ 放 ひ 大 だい 悬臂上 じょう 尖 とんが 细探针與受測樣 さま 品 ひん 原子 げんし 之 の 间的作用 さよう 力 りょく ,从而达到检测的 てき 目的 もくてき ,具有 ぐゆう 原子 げんし 级的分 ぶん 辨 べん 率 りつ 。由 よし 于原子力 げんしりょく 显微镜既可 か 以观察导体 ,也可以观察非导体,从而弥 わたる 补了扫描隧道 すいどう 显微镜 的 てき 不足 ふそく 。
原子力 げんしりょく 显微镜是由 ゆかり IBM公司 こうし 苏黎世 よ 研究 けんきゅう 中心 ちゅうしん 的 てき 格 かく 尔德·宾宁与 あずか 斯坦福 ぶく 大学 だいがく 的 てき Calvin Quate于一九 きゅう 八 はち 五 ご 年 ねん 所 しょ 发明的 てき ,其目的 もくてき 是 ぜ 为了使 し 非 ひ 导体也可以采用 よう 類似 るいじ 扫描探 さがせ 针显微 ほろ 镜(SPM)的 てき 观测方法 ほうほう 。原子力 げんしりょく 显微镜(AFM)与 あずか 扫描隧道 すいどう 显微镜(STM)最大 さいだい 的 てき 差 さ 别在于并非 ひ 利用 りよう 电子穿 ほじ 隧效應 おう ,而是检测原子 げんし 之 の 间的接触 せっしょく ,原子 げんし 键合,范德瓦 かわら 耳 みみ 斯力 或 ある 卡西米 まい 爾 しか 效 こう 應 おう 等 ひとし 来 らい 呈 てい 现样品 ひん 的 てき 表面 ひょうめん 特性 とくせい 。
工作 こうさく 原理 げんり [ 编辑 ]
原子力 げんしりょく 显微镜的原理 げんり 示 しめせ 意 い 图: Detector and Feedback Electronics 偵檢器 き 及回 かい 饋電路 でんろ ; Photodiode 感光 かんこう 二 に 極 きょく 體 たい ; Laser 雷 かみなり 射 しゃ ; Sample Surface 樣 さま 品 ひん 表面 ひょうめん ; Cantilever & Tip 微 ほろ 懸 かか 臂 ひじ 及探針 はり ; PZT Scanner 壓 あつ 電 でん 掃描器 き
AFM的 てき 关键组成部分 ぶぶん 是 ぜ 一个头上带有一个用来扫描样品表面的尖细探针的微观悬臂 。这种悬臂大小 だいしょう 在 ざい 數 すう 十 じゅう 至 いたり 數 すう 百 ひゃく 微 ほろ 米 べい ,通常 つうじょう 由 ゆかり 硅 或 ある 者 もの 氮化硅 构成,其上載 の 有 ゆう 探 さがせ 針 はり ,探 さがせ 針 はり 之 の 尖端 せんたん 的 てき 曲 きょく 率 りつ 半徑 はんけい 則 そく 在 ざい 纳米 量 りょう 级。当 とう 探 さがせ 針 はり 被 ひ 放置 ほうち 到 いた 样品表面 ひょうめん 附近 ふきん 的 てき 地方 ちほう 时,悬臂上 じょう 的 てき 探 さがせ 針 はり 头会因 いん 为受到樣 さま 品 ひん 表面 ひょうめん 的 てき 力 りょく 而遵从胡 えびす 克 かつ 定律 ていりつ 弯曲偏 へん 移 うつり 。在 ざい 不同 ふどう 的 てき 情 じょう 况下,这种被 ひ AFM测量到 いた 的 てき 力 りょく 可能 かのう 是 ぜ 机 つくえ 械接触 せっしょく 力 りょく 、范德华力 、毛 もう 吸力 、化学 かがく 键 、取 と 向 こう 力 ちから 、靜 せい 電力 でんりょく 、磁力 じりょく (见磁力 じりょく 显微镜 )卡西米 まい 尔效应 力 ちから 、溶剂力 りょく 等 とう 等 とう 。通常 つうじょう ,偏 へん 移 うつり 会 かい 由 よし 射 い 在 ざい 微 ほろ 悬臂上 じょう 的 てき 激 げき 光 こう 束 たば 反射 はんしゃ 至 いたり 光敏 みつとし 二 に 极管 阵列而测量 りょう 到 いた ,較薄之 の 懸 かか 臂 ひじ 表面 ひょうめん 常 つね 鍍上反 はん 光 ひかり 材質 ざいしつ (
如鋁 )以增強 ぞうきょう 其反射 はんしゃ 。其他方法 ほうほう 还包括 ほうかつ 光学 こうがく 干涉 かんしょう 法 ほう 、电容 法 ほう 和 わ 壓 あつ 電 でん 效 こう 應 おう 法 ほう 。这些探 さがせ 头通常 つうじょう 由 よし 采 さい 用 よう 壓 あつ 電 でん 效 こう 應 おう 的 てき 变形测量器 き 而制得 とく 。通 つう 过惠 めぐみ 斯登電 でん 橋 きょう ,探 さがせ 头的形 がた 变可以被测得,不 ふ 过这种方法 ほうほう 没 ぼつ 有 ゆう 激 げき 光 こう 反射 はんしゃ 法 ほう 或 ある 干涉 かんしょう 法 ほう 灵敏。
当 とう 在 ざい 恒 つね 定 てい 高度 こうど 扫描时,探 さがせ 头很有 ゆう 可能 かのう 撞到表面 ひょうめん 的 てき 造成 ぞうせい 损伤。所以 ゆえん 通常 つうじょう 会 かい 通 どおり 过反 はん 馈系 けい 统来维持探 さがせ 头与样品片 へん 表面 ひょうめん 的 てき 高度 こうど 恒 つね 定 じょう 。传统上 じょう ,样品被 ひ 放 ひ 在 ざい 压电管 かん 上 うえ 并可以在z方向 ほうこう 上移 かみうつし 动以保持 ほじ 与 あずか 探 さがせ 头之间的恒 つね 定 てい 距离,在 ざい x、y方向 ほうこう 上移 かみうつし 动来实现扫描。或 ある 者 もの 采 さい 用 よう 一 いち 种“三脚 さんきゃく 架 か ”技 わざ 术,在 ざい 三个方向上实现扫描,这种方法 ほうほう 部分 ぶぶん 抑制 よくせい 了 りょう 压电管 かん 扫描时所产生的 てき 扭曲效 こう 应。在 ざい 较新的 てき 设计中 ちゅう ,探 さがせ 针被装 そう 载在垂直 すいちょく 压电扫描器 き 上 じょう ,而样品 ひん 则用另外的 てき 压电结来扫描X和 わ Y方向 ほうこう 。扫描的 てき 结果z = f(x,y) 就是样品的 てき 形貌 なりかたち 图。
AFM可 か 以在不同 ふどう 模 も 式 しき 下 か 运行。这些模 も 式 しき 可 か 以被分 ぶん 为静态模式 しき (Static Mode,也称接触 せっしょく 模 も 式 しき ,Contact Mode),或 ある 其他一 いち 系列 けいれつ 动态模 も 式 しき (Dynamic Mode,如非接触 せっしょく 模 も 式 しき (Non-Contact Mode)、輕 けい 敲模式 しき (Tapping Mode)、側 がわ 向 むこう 力 りょく (Lateral Force Mode)模 も 式 しき 。
成 なり 像 ぞう 模 も 式 しき [ 编辑 ]
原子力 げんしりょく 显微镜的主要 しゅよう 工作 こうさく 模 も 式 しき 有 ゆう 静 せい 态模式 しき 和 わ 动态模 も 式 しき 两种。在 ざい 静 せい 态模式 しき 中 ちゅう ,悬臂从样品 ひん 表面 ひょうめん 划过,从悬臂 ひじ 的 てき 偏 へん 转可以直接 ちょくせつ 得知 とくち 表面 ひょうめん 的 てき 高度 こうど 图。在 ざい 动态模 も 式 しき 中 ちゅう ,悬臂在 ざい 其基 もと 频或 ある 谐波 或 ある 附近 ふきん 振 ふ 动 ,而其振幅 しんぷく 、相 そう 位 い 和 わ 共振 きょうしん 与 あずか 探 さがせ 针和样品间的作用 さよう 力 りょく 相 しょう 关,这些参 さん 数 すう 相 そう 对外部 ぶ 参考 さんこう 的 てき 振 ふ 动的改 あらため 变可得 とく 出 で 样品的 てき 性 せい 质。
接触 せっしょく 模 も 式 しき [ 编辑 ]
在 ざい 接触 せっしょく 模 も 式 しき 下 か ,探 さがせ 针在样品表面 ひょうめん 上 じょう “拖动”,通 つう 过直接 ちょくせつ 测量悬臂的 てき 偏 へん 转或者 しゃ 反 はん 馈信号 ごう 来 らい 保持 ほじ 悬臂在 ざい 恒 つね 定 てい 位置 いち 来 らい 测量表面 ひょうめん 的 てき 轮廓。由 よし 于静态信号 ごう 容易 ようい 受到噪声和 わ 漂移的 てき 影 かげ 响,因 いん 此使用 しよう 低 てい 刚度悬臂(即 そく 劲度系 けい 数 すう
k
{\displaystyle k}
较低的 てき 悬臂)来 らい 获得足 あし 够大的 てき 偏 へん 转信号 ごう ,同 どう 时保持 ほじ 较低的 てき 相互 そうご 作用 さよう 力 りょく 。在 ざい 靠 もたれ 近 きん 样品表面 ひょうめん 的 てき 地方 ちほう ,吸引 きゅういん 力 りょく 可能 かのう 非常 ひじょう 强烈 きょうれつ ,导致探 さがせ 针与表面 ひょうめん 紧密结合。因 よし 此,接触 せっしょく 模 も 式 しき 原子力 げんしりょく 显微镜几乎总是 ぜ 在 ざい 整体 せいたい 力 りょく 为排斥力 せきりょく 的 てき 深度 しんど 进行,即 そく 与 あずか 固体 こたい 表面 ひょうめん 紧密接触 せっしょく 。
接触 せっしょく 模 も 式 しき 对样品 ひん 表面 ひょうめん 的 てき 磨 すり 损较大 だい ,因 いん 此适用 よう 于硬度 こうど 较高的 てき 样品,如金属 きんぞく 、半 はん 导体等 とう 。同 どう 时,由 ゆかり 于接触 せっしょく 模 も 式 しき 中 ちゅう 的 てき 力 りょく 较大,不 ふ 适用于软、易 えき 损坏的 てき 生物 せいぶつ 样品。
非 ひ 接触 せっしょく 模 も 式 しき [ 编辑 ]
在 ざい 这种模 も 式 しき 下 か ,悬臂上 じょう 的 てき 探 さがせ 针并不 ふ 接触 せっしょく 样品表面 ひょうめん ,而是以比其共振 きょうしん 频率略 りゃく 高 だか 的 てき 频率振 ふ 动,振幅 しんぷく 通常 つうじょう 小 しょう 于几纳米。范德华力在 ざい 探 さがせ 针距离表面 めん 样品1~3纳米时最强 きょう ,它与其他在 ざい 表面 ひょうめん 上 じょう 的 てき 长程力 りょく 会 かい 降 くだ 低 てい 悬臂的 てき 振 ふ 动频率 りつ 。通 つう 过调整 せい 探 さがせ 针与样品间的平均 へいきん 距离,频率的 てき 降 くだ 低 てい 与 あずか 反 はん 馈回路 ろ 一起保持不变的振动频率或振幅。测量
(
x
,
y
)
{\displaystyle (x,y)}
每 まい 个数据 すえ 点 てん 上 じょう 的 てき 探 さがせ 针与样品间的距离即 そく 可 か 让扫描软件 けん 构建出 で 样品表面 ひょうめん 的 てき 形貌 なりかたち 。
在 ざい 接触 せっしょく 模 も 式 しき 下 か 扫描数 すう 次 じ 通常 つうじょう 会 かい 伤害样品和 わ 探 さがせ 针,但 ただし 非 ひ 接触 せっしょく 模 も 式 しき 则不会 かい ,这个特 とく 点 てん 使 し 得 え 非 ひ 接触 せっしょく 模 も 式 しき 通常 つうじょう 用 よう 来 らい 测试柔 やわら 软的样品,如生物 せいぶつ 组织和 かず 有 ゆう 机 つくえ 薄膜 うすまく ;而对于坚硬 かた 样品,两个模 も 式 しき 得 え 到 いた 的 てき 图像几乎一 いち 样。然 しか 而,如果在 ざい 坚硬样品上 じょう 裹有一层薄膜或吸附有流体,两者的 てき 成 なり 像 ぞう 则差别很大 だい 。接触 せっしょく 模 も 式 しき 下 か 探 さがせ 针会穿 ほじ 过液体 えきたい 层从而成像 ぞう 其下的 てき 表面 ひょうめん ,非 ひ 接触 せっしょく 模 も 式 しき 下 か 则探针只在 ざい 吸附的 てき 液体 えきたい 层上振 ふ 动,成 なり 像 ぞう 信 しん 息 いき 是 ぜ 液体 えきたい 和 わ 下表 かひょう 面 めん 之 の 和 わ 。
动态模 も 式 しき 下 か 的 てき 成 なり 像 ぞう 包括 ほうかつ 频率调制 和 わ 更 さら 广泛使用 しよう 的 てき 振幅 しんぷく 调制 。频率调制中 ちゅう ,振 ふ 动频率 りつ 的 てき 变化提供 ていきょう 探 さがせ 针和样品间距的 てき 信 しん 息 いき 。频率可 か 以被非常 ひじょう 灵敏地 ち 测量,因 いん 此频率 りつ 调制使用 しよう 非常 ひじょう 坚硬的 てき 悬臂,因 いん 其在非常 ひじょう 靠 もたれ 近 きん 表面 ひょうめん 时仍然 しか 保持 ほじ 很稳定 てい ;因 いん 此这种技术是第 だい 一 いち 种在超 ちょう 高 こう 真空 しんくう 条件下 じょうけんか 获得原子 げんし 级分辨 べん 率 りつ 的 てき 原子力 げんしりょく 显微镜技术。[2] 振幅 しんぷく 调制中 ちゅう ,悬臂振幅 しんぷく 和 わ 相 しょう 位 い 的 てき 变化提供 ていきょう 了 りょう 图像的 てき 反 はん 馈信号 ごう ,而且相 しょう 位 い 的 てき 变化可用 かよう 来 らい 检测表面 ひょうめん 的 てき 不同 ふどう 材料 ざいりょう 。 振幅 しんぷく 调制可用 かよう 在 ざい 非 ひ 接触 せっしょく 模 も 式 しき 和 わ 间歇接触 せっしょく 领情况。在 ざい 动态接触 せっしょく 模 も 式 しき 中 ちゅう ,悬臂是 ぜ 振 ふ 动的,以至悬臂振 ふ 动悬臂 ひじ 探 さがせ 针和样品表面 ひょうめん 的 てき 间距是 ぜ 调制的 てき 。[來 らい 源 みなもと 請求 せいきゅう ] 振幅 しんぷく 调制也用于非接触 せっしょく 模 も 式 しき 中 ちゅう ,用 よう 来 き 在 ざい 超 ちょう 高 こう 真空 しんくう 条件下 じょうけんか 使用 しよう 非常 ひじょう 坚硬的 てき 悬臂和 わ 很小的 てき 振幅 しんぷく 来 らい 得 え 到 いた 原子 げんし 级分辨 べん 率 りつ 。
轻敲模 も 式 しき [ 编辑 ]
在 ざい 不同 ふどう 的 てき pH的 てき 溶液 ようえき 环境中 ちゅう 使用 しよう 轻敲模 も 式 しき 得 え 到 いた 的 てき 高分子 こうぶんし 单链的 てき 原子力 げんしりょく 显微镜图(0.4 nm 厚 あつし )[3]
通常 つうじょう 情 じょう 况下,绝大部分 ぶぶん 样品表面 ひょうめん 都 と 有 ゆう 一 いち 层弯曲 きょく 液 えき 面 めん ,为此非 ひ 接触 せっしょく 模 も 式 しき 下 か 使 し 探 さがせ 针足够靠近 きん 样品表面 ひょうめん 从而可 か 以测试短程 ほど 力 りょく ,但 ただし 是 ぜ 此时探 さがせ 针又容易 ようい 粘 ねば 贴到样品表面 ひょうめん ,这是经常发生的 てき 大 だい 问题;动态模 も 式 しき 就是为了避免此问题而发明的 てき ,又 また 叫 さけべ 做间歇接触 せっしょく 模 も 式 しき (intermittent contact)、轻敲模 も 式 しき (tapping mode)或 ある AC模 も 式 しき (AC Mode)。[4] 在 ざい 轻敲模 も 式 しき 中 なか ,悬臂通 どおり 过类似 に 于非接触 せっしょく 下 か 的 てき 装 そう 载在探 さがせ 针上的 てき 微小 びしょう 的 てき 压电元 もと 件 けん 做来上下 じょうげ 振 ふ 动,频率在 ざい 其共振 きょうしん 频率附近 ふきん ,然 しか 而振幅 はば 则远大 だい 于10纳米,大概 たいがい 在 ざい 100~200纳米间。当 とう 探 さがせ 针越靠 もたれ 近 きん 样品表面 ひょうめん 时,探 さがせ 针和样品表面 ひょうめん 间的范德华力 、偶极偶极作用 さよう 和 わ 静 せい 电力等 とう 作用 さよう 力 りょく 会 かい 导致振幅 しんぷく 越来 ごえく 越 えつ 小 しょう 。电子自 じ 动伺服 ふく 机 つくえ 通 つう 过压电制 せい 动器来 らい 控 ひかえ 制 せい 悬臂和 わ 探 さがせ 针间的 てき 距离,当 とう 悬臂扫描样品表面 ひょうめん 时,伺服机 つくえ 会 かい 调整探 さがせ 针和样品间距来 らい 保持 ほじ 悬臂的 てき 预设的 てき 振幅 しんぷく ,而成像 ぞう 相互 そうご 作用 さよう 力 りょく 则得到 いた 原子力 げんしりょく 显微镜轻敲模式 しき 图像。[5] 轻敲模 も 式 しき 减少了 りょう 接触 せっしょく 模 も 式 しき 中 ちゅう 对样品 ひん 和 わ 探 さがせ 针和损伤,它是如此的 てき 温和 おんわ 以致于可以成像 ぞう 固定 こてい 的 てき 磷脂双 そう 分子 ぶんし 层 和 かず 吸附的 てき 单个高分子 こうぶんし 链 。比 ひ 如液相 しょう 的 てき 0.4纳米厚 あつ 的 てき 合成 ごうせい 聚合物 ぶつ 电解质 ,在 ざい 合 ごう 适的扫描条件下 じょうけんか ,单分子 ぶんし 实验 可 か 以在几小时内保持 ほじ 稳定。[3]
轻敲模 も 式 しき 因 いん 其有效 ゆうこう 地 ち 避免了 りょう 横 よこ 向 こう 摩擦 まさつ 、减小了 りょう 探 さがせ 针及样品磨 すり 损,已 やめ 成 なり 为当今 こん 使用 しよう 最 さい 广泛的 てき AFM工作 こうさく 模 も 式 しき 。
优点与 あずか 缺点 けってん [ 编辑 ]
相 あい 对于扫描电子显微镜 ,原子力 げんしりょく 显微镜具有 ぐゆう 许多优点。不同 ふどう 于电子 こ 显微镜只能 のう 提供 ていきょう 二 に 维图像 ぞう ,AFM提供 ていきょう 真正 しんせい 的 てき 三 さん 维表面 めん 图。同 どう 时,AFM不 ふ 需要 じゅよう 对样品 ひん 的 てき 任 にん 何 なん 特殊 とくしゅ 处理,如镀铜或碳,这种处理对样品 ひん 会 かい 造成 ぞうせい 不可 ふか 逆 ぎゃく 转的伤害。第 だい 三 さん ,电子显微镜需要 よう 运行在高 ありだか 真空 しんくう 条件下 じょうけんか ,原子力 げんしりょく 显微镜在常 つね 压下甚至在 ざい 液体 えきたい 环境下 か 都 と 可 か 以良好 こう 工作 こうさく 。这样可 か 以用来 らい 研究 けんきゅう 生物 せいぶつ 宏 ひろし 观分子 こ ,甚至活 かつ 的 てき 生物 せいぶつ 组织。他 た 就像盲人 もうじん 摸象一 いち 样,在 ざい 物体 ぶったい 的 てき 表面 ひょうめん 慢慢抚摸,原子 げんし 的 てき 形状 けいじょう 很直观的表 ひょう 现。
和 かず 扫描电子显微镜相比 ひ ,AFM的 てき 缺 かけ 点在 てんざい 于成像 ぞう 范围太 たい 小 しょう ,速度 そくど 慢,受探头的影 かげ 响太大 だい 。
参考 さんこう 资料[ 编辑 ]
^ Lang, K.M.; D. A. Hite, R. W. Simmonds, R. McDermott, D. P. Pappas, and John M. Martinis. Conducting atomic force microscopy for nanoscale tunnel barrier forcharacterization . Review of Scientific Instruments. 2004, 75 : 2726–2731 [2013-02-10 ] . Bibcode:2004RScI...75.2726L . doi:10.1063/1.1777388 . (原始 げんし 内容 ないよう 存 そん 档于2013-02-23).
^ Giessibl, Franz J. Advances in atomic force microscopy. Reviews of Modern Physics. 2003, 75 : 949. Bibcode:2003RvMP...75..949G . arXiv:cond-mat/0305119 . doi:10.1103/RevModPhys.75.949 .
^ 3.0 3.1 Roiter, Y; Minko, S. AFM single molecule experiments at the solid-liquid interface: in situ conformation of adsorbed flexible polyelectrolyte chains. Journal of the American Chemical Society. Nov 2005, 127 (45): 15688–9. ISSN 0002-7863 . PMID 16277495 . doi:10.1021/ja0558239 .
^ Zhong, Q; Inniss, D; Kjoller, K; Elings, V. Fractured polymer/silica fiber surface studied by tapping mode atomic force microscopy. Surface Science Letters. 1993, 290 : L688. doi:10.1016/0167-2584(93)90906-Y .
^ Geisse, Nicholas A. AFM and Combined Optical Techniques . Materials Today. July–August 2009, 12 (7-8): 40–45 [4 November 2011] . doi:10.1016/S1369-7021(09)70201-9 . (原始 げんし 内容 ないよう 存 そん 档 于2015-10-17).
常 つね 见Typical atomic force microscopy set-up 其他 应用 参 まいり 阅