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金屬氧化物半導體場效電晶體 - 维基百科,自由的百科全书 とべ转到内容ないよう

金屬きんぞく氧化ぶつ半導體はんどうたいじょうこうでんあきらからだ

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顯微鏡けんびきょうてききん氧半じょうこうでんあきらからだはか試用しようもとけん中有ちゅうう兩個りゃんこ閘極てきせっ墊(pads)以及三組源極與汲極的接墊。

金屬きんぞく氧化ぶつ半導體はんどうたいじょうこうでんあきらからだ(簡稱:きむ氧半じょうこうでんあきらからだ英語えいごMetal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor縮寫しゅくしゃMOSFET),一種可以廣泛使用在かたぎ拟電あずか数字すうじ電路でんろてきこうでんあきらからだ金屬きんぞく氧化ぶつ半導體はんどうたいじょうこうでんあきらからだあきら其通どう極性きょくせいてき不同ふどう可分かぶんため电子うらない多数たすうてきNどおりみちがたあずかそらあなうらない多数たすうてきPどおりみちがた通常つうじょうしょうためNかたきん氧半じょうこうでんあきらたい(NMOSFET)あずかPかたきん氧半じょうこうでんあきらたい(PMOSFET)。

以金氧半じょうこうでんあきらたい(MOSFET)てき命名めいめいらい事實じじつうえかいゆずるじんいた錯誤さくごてき印象いんしょうよしためMOSFET跟英文えいぶんたん「metal(金屬きんぞく)」てきだいいち字母じぼM,ざいとう下大部しもおおべぶん同類どうるいてきもとけんうら存在そんざいてき早期そうききん氧半じょうこうでんあきらからだ閘極使用しよう金屬きんぞく作為さくい材料ざいりょうただしよしあきらざい製造せいぞう工藝こうげいちゅうさらたい高溫こうおんとうとくてん許多きょたきん氧半じょうこうでんあきらからだ閘極採用さいよう後者こうしゃ而非前者ぜんしゃ金屬きんぞくしか而,ずいちょ半導體はんどうたい特徵とくちょう尺寸しゃくすんてき不斷ふだん縮小しゅくしょう金屬きんぞく作為さくい閘極材料ざいりょう最近さいきんまたさいつぎいたりょう研究けんきゅう人員じんいんてき注意ちゅうい

きむ氧半じょうこうでんあきらからだざい概念がいねんじょうぞく絕緣ぜつえん閘極じょうこうでんあきらたい(Insulated-Gate Field Effect Transistor, IGFET)。而絕緣ぜつえん閘極じょうこうでんあきらからだてき閘極絕緣ぜつえんそうゆう可能かのう其他物質ぶっしつ,而非きん氧半じょうこうでんあきらからだ使用しようてき氧化そうゆう些人ざいひっさげいたようゆうあきら矽閘ごく的場まとばこうでんあきらからだもとけん比較ひかく歡用IGFET,ただし這些IGFETはんゆびてききん氧半じょうこうでんあきらたい

きむ氧半じょうこうでんあきらからだうらてき氧化そう於其どおりどう上方かみがたあきら操作そうさ電壓でんあつてき不同ふどう,這層氧化物的ぶってきあつたび僅有すうじゅういたりすうひゃくほこり(Å)不等ふとう通常つうじょう材料ざいりょう氧化硅(SiO2),ゆう些新てきしんかいせいほどやめけい使用しよう氮氧えいSilicon oxynitride(silicon oxynitride, SiON)做為氧化そうこれよう

今日きょう半導體はんどうたいもとけんてき材料ざいりょう通常つうじょうためくびせんただし是也これやゆう半導體はんどうたい公司こうし發展はってん使用しよう其他半導體はんどうたい材料ざいりょうてきせいほどとうちゅうさい著名ちょめいてきれい國際こくさい商業しょうぎょう機器ききまた份有げん公司こうし使用しよう硅與てき混合こんごうぶつしょ發展はってんてき矽鍺せいほど(SiGe process)。而可惜的很多ようゆう良好りょうこうでん性的せいてき半導體はんどうたい材料ざいりょう,如砷化鎵(GaAs),いんため無法むほうざい表面ひょうめんちょう出品しゅっぴんしつ夠好てき氧化そう所以ゆえん無法むほうようらい製造せいぞうきん氧半じょうこうでんあきらからだもとけん

とういち夠大てき電位差でんいさほどこせ於金氧半じょうこうでんあきらからだてき閘極あずかみなもときょくあいだ電場でんじょうかいざい氧化そう下方かほうてき半導體はんどうたい表面ひょうめん形成けいせい感應かんおう電荷でんか,而這就會形成けいせい反轉はんてんどおりどう(inversion channel)。つうどうてき極性きょくせいあずか其汲きょく(drain)あずかみなもときょくしょうどう假設かせつ汲極げんごくnがた麼通道也みちやかいnがたつうどう形成けいせいきむ氧半じょうこうでんあきらからだそくゆずる電流でんりゅう通過つうか,而依據いきょほどこせ於閘きょくてき電壓でんあつ不同ふどうよしきん氧半じょうこうでんあきらからだてきどおりみちりゅうてき電流でんりゅう大小だいしょうまたかい受其ひかえせい改變かいへん

電路でんろ符號ふごう[编辑]

常用じょうよう於金氧半じょうこうでんあきらからだてき電路でんろ符號ふごうゆう多種たしゅ形式けいしきさい常見つねみてき設計せっけいいちじょう垂直すいちょくせん代表だいひょうどおりどう(Channel),りょうじょうどおりどう平行へいこうてき接線せっせん代表だいひょうげんごく(Source)あずか汲極(Drain),ひだりかたどおりどう垂直すいちょくてき接線せっせん代表だいひょう閘極(Gate),如下しょしめせゆう也會しょう代表だいひょうどおりどうてき直線ちょくせん以虛せん代替だいたい,以區分くぶん增强ぞうきょうがた(enhancement mode,またたたえ增强ぞうきょうしききむ氧半じょうこうでんあきらからだある耗尽がた(depletion mode,またたたえむなしとぼししききむ氧半じょうこうでんあきらからだ

よし集成しゅうせい電路でんろあきら片上かたがみてききん氧半じょうこうでんあきらからだためよんはしもとけん所以ゆえんじょりょうげんごく(S)、汲極(D)、閘極(G)そとなお有一ゆういちもときょく(BulkあるBody)。きむ氧半じょうこうでんあきらからだ電路でんろ符號ふごうちゅうしたがえどおりどう往右延伸えんしんてきごう方向ほうこうそく表示ひょうじ此元けんためnがたあるpがたてききん氧半じょうこうでんあきらたいあたま方向ほうこう永遠えいえんしたがえPはし指向しこうNはし所以ゆえんあたましたがえどおりどう指向しこうもと極端きょくたんてきためpがたてききん氧半じょうこうでんあきらからだある簡稱PMOS(代表だいひょう此元けんてきどおりどうためpがた);はんこれそく代表だいひょうもとごくためpがた,而通どうためnがた,此元けんためnがたてききん氧半じょうこうでんあきらからだ,簡稱NMOS。ざい一般分散式金氧半場效電晶體元件中,通常つうじょうもとごくげんごくせっざい一起かずき分散ぶんさんしききん氧半じょうこうでんあきらからだ通常つうじょうためさんはしもとけん。而在せきたい電路でんろちゅうてききん氧半じょうこうでんあきらからだ通常つうじょういんため使用しようどういちもときょく(common bulk),所以ゆえん標示ひょうじもときょくてき極性きょくせい,而在PMOSてき閘極はしいちえんけん以示區別くべつ

いくしゅ常見つねみてきMOSFET電路でんろ符號ふごうじょうせっめんじょうこうでんあきらからだ一起かずき比較ひかく

P沟道
N沟道
JFET 增强ぞうきょうがたMOSFET 增强ぞうきょうがたMOSFET(省略しょうりゃくもときょく そらとぼしがたMOSFET


うえちゅうてききん氧半じょうこうでんあきらからだ符號ふごうちゅうもと極端きょくたんげん極端きょくたんひとしせっざい一起かずき一般いっぱん分立ぶんりつもとけんてきMOSFETいく乎均如此,ただしざいせきたい電路でんろなかてききん氧半じょうこうでんあきらからだそくなみ一定いってい這樣連接れんせつ通常つうじょういちせきたい電路でんろあきらかたちゅうしょうどうつうどうてききん氧半じょうこうでんあきらからだどもとおるどういちもとごくぼう些情きょうてききん氧半じょうこうでんあきらたい可能かのうかい使とくげんごくかずはじめごくなみ直接ちょくせつれんざいいちおこりれい如串たたみしき電流でんりゅうげん(cascode current source)電路でんろちゅうてき份NMOS就是如此。もとごくあずかみなもときょくぼつゆう直接ちょくせつしょうれんてききん氧半じょうこうでんあきらからだかい出現しゅつげん基板きばんこうおう(body effect)而部份改變かいへん操作そうさ特性とくせいはたざいめんてき章節しょうせつちゅう詳述しょうじゅつ

きむ氧半じょうこうでんあきらからだてき操作そうさ原理げんり[编辑]

きむ氧半じょうこうでんあきらからだてき核心かくしん[编辑]

あきら矽—氧化そう半導體はんどうたい結構けっこう
场效应管ざい不同ふどう栅极あつたびしたてきC-V特性とくせいきょく线。ひだり侧为积累,ちゅう间为耗尽,みぎ侧为はんがたはん转)

きむ氧半じょうこうでんあきらからだざい結構けっこうじょういち金屬きんぞく氧化ぶつそう半導體はんどうたいてきでんようため核心かくしん現在げんざいてききん氧半じょうこうでんあきらからだはんあきらだい金屬きんぞく作為さくい其閘ごく材料ざいりょう),氧化そうてき材料ざいりょうはん氧化矽,其下作為さくいもときょくてき,而其じょうのり作為さくい閘極てきあきら。這樣てき結構けっこうせいこのみとういちでん容器ようき,氧化そうためでん容器ようきちゅうかいでんしつ,而電よう值由氧化そうてきあつたびあずか氧化矽的かいでん係數けいすうらい決定けってい。閘極あきら矽與もときょくてきのりなりためMOSでんようてき兩個りゃんこ端點たんてん

とう一個電壓施加在MOSでんようてき兩端りょうたん半導體はんどうたいてき電荷でんかぶん佈也かい跟著改變かいへん

るい[编辑]

考慮こうりょいちpがたてき半導體はんどうたいでんほら濃度のうどためNA形成けいせいてきMOSでんようとう给电容器ようき负电压时,电荷增加ぞうか(如C-Vきょく线左侧所しめせ)。

耗尽[编辑]

相反あいはんとういちせいてき電壓でんあつVGDほどこせざい閘極あずかもと極端きょくたん(如圖)でんほらてき濃度のうどかい減少げんしょうしょう为耗つき,如C-Vきょく线中间所しめせ),電子でんしてき濃度のうどかい增加ぞうか

はんかた[编辑]

とうVGS夠強接近せっきん閘極はしてき電子でんし濃度のうどかい超過ちょうかでんほら。這個ざいp-type半導體はんどうたいちゅう電子でんし濃度のうどおび電荷でんか超過ちょうかでんほらおびせい電荷でんか濃度のうどてき區域くいき便びん所謂いわゆるてき反轉はんてんそう(inversion layer),如C-Vきょく线右侧所しめせ

MOSでんようてき特性とくせい決定けっていりょうきん氧半じょうこうでんあきらからだてき操作そうさ特性とくせいただし一個完整的金氧半場效電晶體結構還需要一個提供多數たすう(majority carrier)てきげんごく以及接受せつじゅ這些多數たすうてき汲極。

きむ氧半じょうこうでんあきらからだてき結構けっこう[编辑]

いちNMOSでんあきらからだてき立體りったい截面

ひだりいちn-typeきん氧半じょうこうでんあきらたい以下いか簡稱NMOS)てき截面。如前しょじゅつきむ氧半じょうこうでんあきらからだてき核心かくしん中央ちゅうおうてきMOSでんよう,而左右さゆう兩側りょうがわそく它的げんごくあずか汲極。みなもとごくあずか汲極てき特性とくせい必須ひっすどうためn-type(そくNMOS)あるどうためp-type(そくPMOS)。ひだりNMOSてきげんごくあずか汲極じょう標示ひょうじてき「N+」代表だいひょうちょ兩個りゃんこ意義いぎ:(1)N代表だいひょう摻雜(doped)ざいみなもとごくあずか汲極區域くいきてきざつしつ極性きょくせいためN;(2)「+」代表だいひょう這個區域くいきためだか摻雜濃度のうど區域くいき(heavily doped region),也就此區てき電子でんし濃度のうどとおこう於其區域くいきざいみなもとごくあずか汲極あいだ一個極性相反的區域隔開,也就所謂いわゆるてきもときょくあるしょう基體きたい區域くいき。如果NMOS,麼其基體きたいてき摻雜就是p-type。はんこれたいPMOS而言,基體きたいおう該是n-type,而源ごくあずか汲極そくためp-type(而且是重これしげ摻雜てきP+)。基體きたいてき摻雜濃度のうど需要じゅよう如源ごくある汲極麼高,ざいひだりちゅうぼつゆう「+」,作為さくいどおりみちよう

たい這個NMOS而言,真正しんせいようらい作為さくいどおりどうゆずる通過つうかてきただゆうMOSでんようせい下方かほう半導體はんどうたいてき表面ひょうめん區域くいきとう一個正電壓施加在閘極上,たいまけでんてき電子でんし就會吸引きゅういんいたり表面ひょうめん形成けいせいどおりどうゆずるn-type半導體はんどうたいてき多數たすう電子でんし以從げんきょくりゅうこう汲極。如果這個電壓でんあつうつりじょあるうえいちまけ電壓でんあつ麼通どう就無ほう形成けいせい也無ほうざいげんごくあずか汲極あいだ流動りゅうどう,也就透過とうか閘極てき電壓でんあつひかえせいどおりどうてきひらきせき

假設かせつ操作そうさてき對象たいしょうかわなるPMOS,麼源ごくあずか汲極ためp-type、基體きたいそくn-type。ざいPMOSてき閘極じょうほどこせ電壓でんあつのり半導體はんどうたいじょうてきそらあなかい吸引きゅういんいた表面ひょうめん形成けいせいどおりどう半導體はんどうたいてき多數たすうそらあなそく以從げんきょくりゅうこう汲極。假設かせつ這個電壓でんあつうつりじょある上正かみしょう電壓でんあつ麼通どう無法むほう形成けいせい,一樣無法讓載子在源極和汲極間流動。

特別とくべつよう說明せつめいてきみなもときょくざいかね氧半じょうこうでんあきらからだうらてき意思いし提供ていきょう多數たすうてきらいげんたいNMOS而言,多數たすう電子でんしたいPMOS而言,多數たすうそらあな相對そうたいてき,汲極就是接受せつじゅ多數たすうてき端點たんてん

きむ氧半じょうこうでんあきらからだてき操作そうさしき[编辑]

Ohmic contact to body to ensure no body bias; top left:subthreshold, top right:Ohmic mode, bottom left:Active mode at onset of pinch-off, bottom right: Active mode well into pinch-off – channel length modulation evident
ひだり图为计算つくえ仿真きょく线。临界电压ざい0.45V左右さゆうみぎ图展现的纳米线MOSFETちゅうはんかた沟道てき形成けいせい(电子密度みつどてき变化)。

あきらざいかね氧半じょうこうでんあきらからだてき閘極、みなもときょくあずか汲極とうさん端點たんてんほどこせてきへんおけ(bias)不同ふどうきむ氧半じょうこうでんあきらたいはたゆうれつさんしゅ操作そうさしき下面かめんはた以一种简化代数模型来讨论。[1]现代MOSかんてき特性とくせい这里展示てんじてき代数だいすう模型もけいさら复杂。[2]

对于增强ぞうきょうがたN沟道MOSかんらい说,这3种工作こうさくしきぶん别为:

截止つぎ臨界りんかいあるじゃく反轉はんてん)(cutoff, subthreshold or weak-inversion mode)
とう |VGS| < |Vth| 时:
|VGS| 代表だいひょう閘極いたみなもときょくてきへんあつ,|Vth| 为材りょうてき臨界りんかい電壓でんあつ。這個きん氧半じょうこうでんあきらからだしょざい截止(cut-off)てき狀態じょうたいつうどう無法むほう反轉はんてんなみぼつゆうあし夠的多數たすう電流でんりゅう無法むほうりゅう這個きん氧半じょうこうでんあきらからだ,也就這個きん氧半じょうこうでんあきらからだ導通どうつう
ただし事實じじつじょうきむ氧半じょうこうでんあきらからだ電流でんりゅう通過つうかてき敘述現實げんじつゆう微小びしょうてき差異さいざい真實しんじつてき狀況じょうきょういんためてきのうりょうむぎかつ斯韦-玻尔兹曼分布ぶんぷ而有高低こうていてき差異さい。雖然きん氧半じょうこうでんあきらからだてきどおりみちぼつゆう形成けいせいただし仍然ゆう具有ぐゆう較高のう量的りょうてき以從半導體はんどうたい表面ひょうめんりゅういたり汲極。而若 |VGS| りゃくだい於零,ただししょう於 |Vth| てき情況じょうきょうかえかいゆういちたたえためじゃく反轉はんてんそう(weak inversion layer)てき區域くいきざい半導體はんどうたい表面ひょうめん出現しゅつげんゆずるさらおおりゅう透過とうかじゃく反轉はんてん而從げんきょくりゅういたり汲極てき數量すうりょうあずか |VGS| てき大小だいしょうあいだてい指數しすうてき關係かんけい,此電りゅうまたたたえため亚阈值电りゅう(subthreshold current)。
ざい一些擁有大量金氧半場效電晶體的積體電路產品,如动态ずいつくえそんそん储器(DRAM),臨界りんかい電流でんりゅう往往おうおうかい造成ぞうせいがく外的がいてきのうりょうあるこうりつ消耗しょうもう
NMOSてき汲極電流でんりゅうあずか汲極電壓でんあつあいだざい不同ふどうてき關係かんけい
きむ氧半じょうこうでんあきらからだざいせんせい操作そうさてき截面
せんせい(三極區或歐姆區)(linear region, triode mode or ohmic mode)[3][4]))
とう VGS > VthVGD > Vth 时:
此處ここらVDSためNMOS汲極いたりげんきょくてき電壓でんあつのり這顆NMOSため導通どうつうてき狀況じょうきょうざい氧化そう下方かほうてきどおりどう也已形成けいせい。此時這顆NMOSてき行為こうい類似るいじいちあつひかえでん阻(voltage-controlled resistor),而由汲極むかいはじめ流出りゅうしゅつてき電流でんりゅう大小だいしょうため

μみゅーnこれ遷移せんいりつ(carrier mobility)、Wきん氧半じょうこうでんあきらからだてき閘極ひろし、Lきん氧半じょうこうでんあきらからだてき閘極ちょう,而Coxのり閘極氧化そうてき單位たんいでんよう大小だいしょうざい這個區域くいき內,きむ氧半じょうこうでんあきらからだてき電流でんりゅう電壓でんあつ關係かんけいゆういちせんせい方程式ほうていしきいん而稱ためせんせい
きむ氧半じょうこうでんあきらからだざい飽和ほうわ操作そうさてき截面
飽和ほうわ主動しゅどう)(saturation or active mode)[5][6]
とう VGS > VthVGD < Vth 时:
這顆きん氧半じょうこうでんあきらからだため導通どうつうてき狀況じょうきょう,也形成けいせいりょうどおりどうゆずる電流でんりゅう通過つうかただしずいちょ汲極電壓でんあつ增加ぞうか超過ちょうか閘極電壓でんあつかい使とく接近せっきん汲極てき反轉はんてんそう電荷でんかためれい此處ここてきどおりどう消失しょうしつ(如圖),這種狀況じょうきょうしょうため夾止(pinch-off)。ざい這種狀況じょうきょうよしげんごく出發しゅっぱつてき經由けいゆどおりどう到達とうたつ夾止てんかい注入ちゅうにゅう汲極周圍しゅういてき空間くうかん電荷でんか(space charge region),さい電場でんじょう掃入汲極。此時通過つうかきん氧半じょうこうでんあきらからだてき電流でんりゅうあずか其汲きょくげんごくあいだてき電壓でんあつVDS無關むせきただあずか閘極電壓でんあつゆうせき主要しゅよう原因げんいんざい於靠きん汲極てき閘極電壓でんあつやめけい不足ふそく以讓どおりどう反轉はんてん,而造成ぞうせいしょのう提供ていきょうてき有限ゆうげんげんせいじゅうりょうどおりどうてき電流でんりゅう大小だいしょう關係かんけいしき如下:

上述じょうじゅつてき公式こうしき也是理想りそう狀況じょうきょうきむ氧半じょうこうでんあきらからだざい飽和ほうわ操作そうさてき電流でんりゅうあずか電壓でんあつ關係かんけいしき事實じじつじょうざい飽和ほうわてききん氧半じょうこうでんあきらからだ汲極電流でんりゅうかいいんためつう道長みちなが調ちょうへんこうおうえいchannel length modulation改變かいへんなみあずかVDS全然ぜんぜん無關むせき考慮こうりょどおり道長みちなが調ちょうへんこうおうこれてき飽和ほうわ電流でんりゅう電壓でんあつ關係かんけいしき如下:

せき於通道長みちなが調ちょうへんこうおうてき成因せいいんあずか影響えいきょうはたざいめん敘述。

基板きばんこうおう[编辑]

一般いっぱん而言,みなもときょく電壓でんあつあずか基板きばん電壓でんあつ兩者りょうしゃせっざい一起かずきVSB=0,ただしざい實際じっさいじょうVSB>0(たいPがた基板きばん而言),此時基板きばんあずかみなもときょくさんせいぎゃくへん使つかいとくむなしとぼし電荷でんか增加ぞうかいん此使臨界りんかい電壓でんあつ增加ぞうかてき現象げんしょうしょうため基板きばんこうおう(Body Effect)。基板きばんこうおう通常つうじょうまけめんてき臨界りんかい電壓でんあつ變化へんか常會じょうかい使類比るいひ電路でんろあるすう電路でんろ設計せっけいさら複雜ふくざつ。MOS受到基板きばんこうおう影響えいきょう臨界りんかい電壓でんあつかいゆうしょ改變かいへん公式こうしき如下:

,

これごくあずかみなもときょくあいだ電位差でんいさてき臨界りんかい電壓でんあつ基板きばんこうおうさんすうのりあずか半導體はんどうたいのうかい相關そうかんてきさんすうきん带中线与费米のう级的值)。

きむ氧半じょうこうでんあきらからだざい電子でんし電路でんろじょう應用おうようてき優勢ゆうせい[编辑]

きむ氧半じょうこうでんあきらからだざい1960ねんゆかりかいなんじ實驗じっけんしつてきD. KahngえいDawon KahngMartin AtallaえいMartin Atallaくびじつ作成さくせいこう,這種もとけんてき操作そうさ原理げんり1947ねんしょう克利かつとしとうひと發明はつめいてきそうせっめんでんあきらからだ截然せつぜん不同ふどう,且因ためせい造成ぞうせいほん低廉ていれんあずか使用しよう面積めんせき較小、こう整合せいごうてき優勢ゆうせいざい大型おおがたせきたい電路でんろあるちょう大型おおがたせきたい電路でんろてき領域りょういきうら重要じゅうようせいとお超過ちょうかBJT。

近年きんねん來由らいゆ於金氧半じょうこうでんあきらからだもとけんてき性能せいのう逐漸ひさげますじょりょう傳統でんとうじょう應用おうよう於諸如微處理しょりほろひかえせいとうすう訊號處理しょりてき場合ばあいじょう也有やゆう越來ごえくえつ類比るいひ訊號處理しょりてきせきたい電路でんろ以用きん氧半じょうこうでんあきらたいらい實現じつげん以下いか分別ふんべつかい紹這些應用おうよう

すう電路でんろ[编辑]

すう科技かぎてき進步しんぽ,如ほろ處理しょり運算うんざん效能こうのう不斷ふだんひさげますおびきゅう深入ふかいりけんはつしん一代金氧半場效電晶體更多的動力,這也使とくきん氧半じょうこうでんあきらからだ本身ほんみてき操作そうさ速度そくど越來ごえくえつかいいく乎成ため各種かくしゅ半導體はんどうたい主動しゅどうもとけんちゅうさいかいてきいちしゅきむ氧半じょうこうでんあきらからだざいすう訊號處理しょりじょうさい主要しゅようてき成功せいこうらい互補しき金屬きんぞく氧化ぶつ半導體はんどうたい邏輯電路でんろてき發明はつめい,這種結構けっこう最大さいだいてきこうしょ理論りろんじょうかいゆう靜態せいたいてきこうりつ損耗そんこうただゆうざい邏輯閘てきせつかわ動作どうさざいゆう電流でんりゅう通過つうか。互補しき金屬きんぞく氧化ぶつ半導體はんどうたい邏輯閘最基本きほんてき成員せいいん互補しき金屬きんぞく氧化ぶつ半導體はんどうたいはんそう,而所有しょゆう互補しき金屬きんぞく氧化ぶつ半導體はんどうたい邏輯閘的基本きほん操作そうさ如同はんそういちようどう一時間內必定只有一種電晶體(NMOSあるPMOS)しょざい導通どうつうてき狀態じょうたい,另一種必定是截止狀態,這使とくしたがえ電源でんげんはしいた接地せっちはしかいゆう直接ちょくせつ導通どうつうてきみち大量たいりょうぶししょうりょう電流でんりゅうあるこうりつてき消耗しょうもう,也降ていりょうせきたい電路でんろてき發熱はつねつりょう

きむ氧半じょうこうでんあきらからだざいすう電路でんろじょう應用おうようてき另外一大いちだい優勢ゆうせいたい直流ちょくりゅう訊號而言,きむ氧半じょうこうでんあきらからだてき閘極はし阻抗ため無限むげんだいとうこう於開),也就理論りろんじょうかいゆう電流でんりゅうしたがえきん氧半じょうこうでんあきらからだてき閘極はしりゅうこう電路でんろうらてき接地せっちてん,而是完全かんぜんよし電壓でんあつひかえせい閘極てき形式けいしき。這讓きん氧半じょうこうでんあきらからだ們最主要しゅようてき競爭きょうそうたいBJTしょう較之さらためしょうでん,而且也更えき驅動くどうざいCMOS邏輯電路でんろうらじょりょうせめ驅動くどうあきらかたそとまけ(off-chip load)てき驅動くどうそとまい一級的邏輯閘都只要面對同樣是金氧半場效電晶體的閘極,如此一來較不需考慮邏輯閘本身的驅動力。あい較之,BJTてき邏輯電路でんろれい如最常見つねみてきTTL)就沒ゆう這些優勢ゆうせいきむ氧半じょうこうでんあきらからだてき閘極輸入ゆにゅうでん阻無げんだいたい於電設計せっけい工程こうてい而言またゆう其他ゆうてんれい如較考慮こうりょ邏輯閘輸出端ではてきこうおう(loading effect)。

類比るいひ電路でんろ[编辑]

ゆういちだん時間じかんきむ氧半じょうこうでんあきらからだなみ類比るいひ電路でんろ設計せっけい工程こうていてきくびせんいんため類比るいひ電路でんろ設計せっけい重視じゅうしてき性能せいのうさんすう如電じょでんあきらからだてきまたがある電流でんりゅうてき驅動くどうりょくじょうきむ氧半じょうこうでんあきらからだ如BJTらいとく適合てきごう類比るいひ電路でんろてき需求。ただしずいちょきん氧半じょうこうでんあきらからだ技術ぎじゅつてき不斷ふだんえんじすすむ今日きょうてきCMOS技術ぎじゅつ也已けい符合ふごう很多類比るいひ電路でんろてき規格きかく需求。さいうえきん氧半じょうこうでんあきらからだいんため結構けっこうてき關係かんけいぼつゆうBJTてきいち些致いのち缺點けってん,如ねつ跑脫(thermal runaway)。另外,きむ氧半じょうこうでんあきらからだざいせんせいてきあつひかえでん阻特せいまたざいせきたい電路でんろうらようらいだい傳統でんとうてきあきら矽電阻(poly resistor),あるMOSでんよう本身ほんみ以用だい常用じょうようてきあきら矽—絕緣ぜつえんたいあきら矽電よう(PIP capacitor),甚至ざい適當てきとうてき電路でんろひかえせい以表現出げんしゅつでんかん(inductor)てき特性とくせい,這些こうしょBJT很難提供ていきょうてき。也就せつきむ氧半じょうこうでんあきらからだじょりょうふんえんじ原本げんぽんでんあきらからだてきかくしょくがい,也可以用らい作為さくい類比るいひ電路でんろちゅう大量たいりょう使用しようてきどうもとけん(passive device)。這樣てきゆうてんゆずる採用さいようきん氧半じょうこうでんあきらからだ實現じつげん類比るいひ電路でんろただし滿足まんぞく規格きかくじょうてき需求,かえ有效ゆうこう縮小しゅくしょうあきらへんてき面積めんせきくだてい生產せいさん成本なりもと

ずいちょ半導體はんどうたい製造せいぞう技術ぎじゅつてき進步しんぽたい整合せいごうさら多功たこうのういたりたん一晶片的需求也跟著大幅提升,此時用金ようきん氧半じょうこうでんあきらからだ設計せっけい類比るいひ電路でんろてき另外一個優點也隨之浮現。ためりょう減少げんしょうざい印刷いんさつ電路でんろばんうえ使用しようてきせきたい電路でんろ數量すうりょう減少げんしょうふうそう成本なりもとあずか縮小しゅくしょう系統けいとうてき體積たいせき,很多原本げんぽん獨立どくりつてき類比るいひあきらかたあずかすうあきらかた整合せいごういたりどういちあきらかた內。きむ氧半じょうこうでんあきらからだ原本げんぽんざいすうせきたい電路でんろじょう就有很大てき競爭きょうそう優勢ゆうせいざい類比るいひせきたい電路でんろじょう也大りょう採用さいようきん氧半じょうこうでんあきらたいこれ這兩しゅ不同ふどうこうのうてき電路でんろ整合せいごうおこりらいてき困難こんなん也顯ちょてき下降かこう。另外ぞうぼう混合こんごう訊號電路でんろ(Mixed-signal circuits),如類比るいひすう轉換てんかん,也得以利用金ようきん氧半じょうこうでんあきらからだ技術ぎじゅつ設計せっけい效能こうのうさらこのみてき產品さんぴん

きん年來ねんらいかえゆう一種整合金氧半場效電晶體與BJT各自かくじゆうてんてきせいほど技術ぎじゅつBiCMOS越來ごえくえつ歡迎かんげい。BJTもとけんざい驅動くどうだい電流でんりゅうてき能力のうりょくじょう仍然一般いっぱんてきCMOSゆうことざいもたれ方面ほうめん也有やゆういち優勢ゆうせいれい如不容易よういかむしずかでん放電ほうでん破壞はかい所以ゆえん很多同時どうじ需要じゅよう複雜ふくざつ訊號處理しょり以及強大きょうだい電流でんりゅう驅動くどう能力のうりょくてきせきたい電路でんろ產品さんぴんかい使用しようBiCMOS技術ぎじゅつらい製作せいさく

きむ氧半じょうこうでんあきらからだてき尺寸しゃくすんちぢみ[编辑]

過去かこすうじゅう年來ねんらいきむ氧半じょうこうでんあきらからだてき尺寸しゃくすん不斷ふだん地變ちへんしょう早期そうきてきせきたい電路でんろきむ氧半じょうこうでんあきらからだせいほどうらつう道長みちながやくざいいくほろべいてき等級とうきゅうただしいたりょう今日きょうてきせきたい電路でんろせいほど,這個さんすうやめけい縮小しゅくしょういたりょういく十分之一甚至一百分之一。2008年初ねんしょIntel開始かいし以45奈米てき技術ぎじゅつらい製造せいぞうしん一代いちだいてきほろ處理しょり實際じっさいてきもとけんどおり道長みちなが可能かのう這個數字すうじかえしょういち些。いたり90年代ねんだいまつきむ氧半じょうこうでんあきらからだ尺寸しゃくすん不斷ふだん縮小しゅくしょうゆずるせきたい電路でんろてき效能こうのうだいだいひさげます,而從歷史れきしてき角度かくどらい,這些技術ぎじゅつじょうてき突破とっぱ半導體はんどうたいせいほどてき進步しんぽゆうちょみつ不可分ふかぶんてき關係かんけい

きむ氧半じょうこうでんあきらからだてき尺寸しゃくすん縮小しゅくしょう[编辑]

もと於以いく理由りゆうきむ氧半じょうこうでんあきらからだてき尺寸しゃくすんのうこし小越おごしよしみ

  1. えつしょうてききん氧半じょうこうでんあきらからだ象徵しょうちょう其通道長みちなが減少げんしょうゆずるどおりどうてきとうこうでん阻也減少げんしょう以讓さら電流でんりゅう通過つうか。雖然どおり道寬みちひろ可能かのう跟著へんしょう而讓どおりみちとうこうでん阻變だいただし如果のうくだてい單位たんいでん阻的大小だいしょう麼這問題もんだい就可以解決かいけつ
  2. きむ氧半じょうこうでんあきらからだてき尺寸しゃくすんへんしょう意味いみちょ閘極面積めんせき減少げんしょう,如此以降いこうひくとうこうてき閘極でんよう。此外,えつしょうてき閘極通常つうじょうかいゆうさらうすてき閘極氧化そう,這可以讓前面ぜんめんひっさげいたてきどおりどう單位たんいでん阻值くだてい這樣てき改變かいへん同時どうじかいゆずる閘極でんようはん而變とく較大,ただし減少げんしょうてきどおりみちでん阻相獲得かくとくてきこうしょ仍然壞處,而金氧半じょうこうでんあきらからだざい尺寸しゃくすん縮小しゅくしょうてきせつかわ速度そくど也會いんため上面うわつら兩個りゃんこいんそう而變かい
  3. きむ氧半じょうこうでんあきらからだてき面積めんせきえつしょう製造せいぞうあきらへんてき成本なりもと就可以降いこうひくざい同樣どうようてきふうそううら以裝さら高密度こうみつどてきあきらへん。一片積體電路製程使用的晶圓尺寸是固定的,所以ゆえん如果あきらかた面積めんせきえつしょう同樣どうよう大小だいしょうてきあきらえん就可以產出さんしゅつさらてきあきらへん,於是成本なりもと就變どくさらていりょう

尺寸しゃくすん縮小しゅくしょうてきまけめんこうおう[编辑]

雖然きん氧半じょうこうでんあきらからだ尺寸しゃくすん縮小しゅくしょう以帶らい很多こうしょただし同時どうじ也有やゆう很多まけめんこうおうともずい而來。

きむ氧半じょうこうでんあきらからだてき尺寸しゃくすん縮小しゅくしょう出現しゅつげんてき困難こんなん

きん氧半じょうこうでんあきらからだてき尺寸しゃくすん縮小しゅくしょういたいちほろべい以下いかたい半導體はんどうたいせいほど而言挑戰ちょうせん現在げんざいてきしん挑戰ちょうせんはん尺寸しゃくすん越來ごえくえつしょうてききん氧半じょうこうでんあきらからだもとけん所帶じょたいらい過去かこ出現しゅつげんてき物理ぶつりこうおう

臨限傳導でんどう

よし於金氧半じょうこうでんあきらからだ閘極氧化そうてきあつたび不斷ふだん減少げんしょう所以ゆえん閘極電壓でんあつてき上限じょうげん也隨へんしょう,以免過大かだいてき電壓でんあつ造成ぞうせい閘極氧化そう崩潰ほうかい(breakdown)。ためりょう維持いじ同樣どうようてき性能せいのうきむ氧半じょうこうでんあきらからだてき臨界りんかい電壓でんあつ也必須降ていただし這也造成ぞうせいりょうきん氧半じょうこうでんあきらからだ越來ごえくえつなん完全かんぜんせき閉。也就せつそく以造成金なりきん氧半じょうこうでんあきらからだどおりどう發生はっせいじゃく反轉はんてんてき閘極電壓でんあつかい從前じゅうぜんさらひく,於是所謂いわゆるてき閾值電流でんりゅう(subthreshold current)造成ぞうせいてき問題もんだいかい過去かこさら嚴重げんじゅう特別とくべつ今日きょうてきせきたい電路でんろあきら片所かたしょ含有がんゆうてきでんあきらからだ數量すうりょうげきぞうざいぼうちょう大型おおがたせきたい電路でんろてきあきらかた臨限傳導でんどう造成ぞうせいてきこうりつ消耗しょうもう竟然佔了そうこうりつ消耗しょうもうてき一半いっぱん以上いじょう

はんせつ也有やゆう些電設計せっけいかいいんためきん氧半じょうこうでんあきらからだてきつぎ臨限傳導でんどういたこうしょれい如需よう較高てきてんしるべ電流でんりゅう轉換てんかん(transconductance-to-current ratio)てき電路でんろうら利用りよう臨限傳導でんどうてききん氧半じょうこうでんあきらたいらい達成たっせい目的もくてきてき設計せっけい也頗ため常見つねみ

あきらかた內部連接れんせつ導線どうせんてき寄生きせいでんようこうおう

傳統でんとうじょう,互補しき金屬きんぞく氧化ぶつ半導體はんどうたい邏輯閘的せつかわ速度そくどあずか其元けんてき閘極でんようゆうせきただしとう閘極でんようずいちょきん氧半じょうこうでんあきらからだ尺寸しゃくすんへんしょう減少げんしょう同樣どうよう大小だいしょうてきあきら片上かたがみようおさめさらでんあきらたい連接れんせつ這些でんあきらからだてき金屬きんぞく導線どうせんあいださんせいてき寄生きせいでんようこうおう開始かいし主宰しゅさい邏輯閘的せつかわ速度そくど如何いか減少げんしょう這些寄生きせいでんようなりりょうあきらかた效率こうりつ能否のうひ向上こうじょう突破とっぱてきせきかぎいち

あきらかた發熱はつねつりょう增加ぞうか

とうあきら片上かたがみてきでんあきらからだ數量すうりょう大幅おおはば增加ぞうかゆう一個無法避免的問題也跟著發生了,就是あきらへんてき發熱はつねつりょう也大はば增加ぞうか一般いっぱんてきせきたい電路でんろもとけんざい高溫こうおん操作そうさ可能かのうかいしるべ致切かわ速度そくど受到影響えいきょうあるしるべ致可もたれあずか壽命じゅみょうてき問題もんだいざいいち些發熱量ねつりょう非常ひじょうだかてきせきたい電路でんろあきらかたほろ處理しょり目前もくぜん需要じゅよう使用しようがいてきねつ系統けいとうらい緩和かんわ這個問題もんだい

ざいこうりつでんあきらたい(Powerきん氧半じょうこうでんあきらからだてき領域りょういきうらつうどうでん阻常常會じょうかいいんため溫度おんどますだか而跟ちょ增加ぞうか,這樣也使とくざいもとけんちゅうPN结(pn-junction)しるべ致的こうりつ損耗そんこう增加ぞうか假設かせつがいおけてきねつ系統けいとう無法むほうゆずるこうりつでんあきらからだてき溫度おんど保持ほじざい夠低てき水準すいじゅん,很有可能かのうゆずる這些こうりつでんあきらからだ遭到ねつしつひかえてき命運めいうん

閘極氧化そう漏電ろうでんりゅう增加ぞうか

閘極氧化そうずいちょきん氧半じょうこうでんあきらからだ尺寸しゃくすんへんしょう越來ごえくえつうす目前もくぜん主流しゅりゅうてき半導體はんどうたいせいほどちゅう,甚至やめけい做出あつたび僅有1.2奈米てき閘極氧化そう大約たいやくとう於5原子げんしたたみざい一起的厚度而已。ざい這種尺度しゃくど所有しょゆうてき物理ぶつり現象げんしょうざい量子力學りょうしりきがくところ規範きはんてき世界せかい內,れい如電じょでんてき穿ほじ隧效おうよしため穿ほじ隧效おうゆう電子でんし有機ゆうきかいこし氧化そうしょ形成けいせいてきくらいのう障壁しょうへき(potential barrier)而產せい漏電ろうでんりゅう,這也今日きょうせきたい電路でんろあきらかたこう耗的らいげんいち

ためりょう解決かいけつ這個問題もんだいゆういち些介でん係數けいすう氧化矽さらだかてき物質ぶっしつもちいざい閘極氧化そうちゅうれいてき金屬きんぞく氧化ぶつ氧化鉿氧化鋯とうだかかいでん係數けいすうてき物質ぶっしつひとしのう有效ゆうこうくだてい閘極漏電ろうでんりゅう。閘極氧化そうてきかいでん係數けいすう增加ぞうか,閘極てきあつ便びん能增のうます維持いじいちようてきでんよう大小だいしょう。而較あつてき閘極氧化そうまた以降いこうてい電子でんし透過とうか穿ほじ隧效おう穿ほじ氧化そうてきりつしん而降てい漏電ろうでんりゅう利用りようしん材料ざいりょう製作せいさくてき閘極氧化そう必須ひっす考慮こうりょ其位のう障壁しょうへきてき高度こうどいんため這些しん材料ざいりょうてき傳導でんどうたいあたいたいかず半導體はんどうたいてき傳導でんどうたいあずかあたいたいてき距比氧化矽しょう(二氧化矽的傳導帶和矽之間的高度差約為8ev),所以ゆえん仍然ゆう可能かのうしるべ致閘きょく漏電ろうでんりゅう出現しゅつげん

せいほど變異へんいさらなんてのひらひかえ

現代げんだいてき半導體はんどうたいせいほどこうじょ複雜ふくざつ繁多はんたにんなん一道いちどうせいほどみやこゆう可能かのう造成ぞうせいせきたい電路でんろあきら片上かたがみてきもとけんさんせい些微變異へんいとうかね氧半じょうこうでんあきらからだとうもとけんえつ做越しょう,這些變異へんいしょ佔的比例ひれい可能かのう大幅おおはばひさげますしん影響えいきょう電路でんろ設計せっけいしゃしょあずかてき效能こうのう,這樣てき變異へんいゆずる電路でんろ設計せっけいしゃてき工作こうさくへんどくさらため困難こんなん

きむ氧半じょうこうでんあきらからだてき閘極材料ざいりょう[编辑]

理論りろんうえきん氧半じょうこうでんあきらからだてき閘極おう該儘可能かのう選擇せんたくでんせい良好りょうこうてき導體どうたいあきらざい經過けいかじゅう摻雜これてき導電性どうでんせい以用ざいかね氧半じょうこうでんあきらからだてき閘極じょうただしなみかん美的びてき選擇せんたく目前もくぜんきん氧半じょうこうでんあきらからだ使用しようあきら作為さくいてき理由りゆう如下:

  1. きむ氧半じょうこうでんあきらからだてき臨界りんかい電壓でんあつ(threshold voltage)主要しゅようよし閘極あずかつうどう材料ざいりょうてきこう函數かんすうこれあいだてき差異さいらい決定けってい,而因ためあきら矽本しつじょう半導體はんどうたい所以ゆえん以藉よし摻雜不同ふどう極性きょくせいてきざつしつらい改變かいへん其功函數かんすうさら重要じゅうようてきよしためあきらかずそこ作為さくいどおりどうてきこれあいだのうすきしょうどういん此在くだていPMOSあるNMOSてき臨界りんかい電壓でんあつ以藉よし直接ちょくせつ調整ちょうせいあきらてきこう函數かんすうらい達成たっせい需求。はんせつ金屬きんぞく材料ざいりょうてきこう函數かんすうなみぞう半導體はんどうたい麼易於改變かいへん,如此一來要降低金氧半場效電晶體的臨界電壓就變得比較困難。而且如果おもえよう同時どうじくだていPMOSNMOSてき臨界りんかい電壓でんあつはた需要じゅようりょうたね不同ふどうてき金屬きんぞく分別ふんべつ做其閘極材料ざいりょうたい於製ほどまたいち很大てき變數へんすう
  2. 氧化矽せっめん經過けいか多年たねんてき研究けんきゅうやめけいしょうじつ這兩しゅ材料ざいりょうあいだてき缺陷けっかん(defect)相對そうたい而言比較ひかくしょうてきはんこれ金屬きんぞく絕緣ぜつえんたいせっめんてき缺陷けっかん容易よういざい兩者りょうしゃあいだ形成けいせい很多表面ひょうめんのうかいだいため影響えいきょうもとけんてき特性とくせい
  3. あきらてき熔點だい多數たすうてき金屬きんぞくだか,而在現代げんだいてき半導體はんどうたいせいほどちゅう習慣しゅうかんざい高溫こうおん沉積閘極材料ざいりょう增進ぞうしんもとけん效能こうのう金屬きんぞくてき熔點ていしょうかい影響えいきょうせいほどしょのう使用しようてき溫度おんど上限じょうげん

過多かたあきら矽雖しかざい過去かこ20ねん製造せいぞうきん氧半じょうこうでんあきらからだ閘極てき標準ひょうじゅんただし也有やゆう若干じゃっかん缺點けってん使とく未來みらい仍然ゆう份金氧半じょうこうでんあきらたい可能かのう使用しよう金屬きんぞく閘極,這些缺點けってん如下:

  1. あきら導電性どうでんせい金屬きんぞくげんせいりょう訊號でん遞的速度そくど。雖然利用りよう摻雜てき方式ほうしき改善かいぜん導電性どうでんせいただしなりこう仍然有限ゆうげん目前もくぜんゆう些融てん比較ひかくだかてき金屬きんぞく材料ざいりょう如:あるもちいらいあきらせい成合なれあいきん。這類混合こんごう材料ざいりょう通常つうじょうたたえため金屬きんぞく矽化ぶつうえりょう金屬きんぞく矽化物的ぶってきあきら矽閘ごくゆうちょ比較ひかくこのみてきしるべでん特性とくせい,而且またのう夠耐受高溫こうおんせいほど。此外因がいいんため金屬きんぞく矽化物的ぶってき位置いちざい閘極表面ひょうめんはなれどおりどう較遠,所以ゆえん也不かいたいきん氧半じょうこうでんあきらからだてき臨界りんかい電壓でんあつ造成ぞうせいふとだい影響えいきょう
  2. ざい閘極、みなもとごくあずか汲極鍍上金屬きんぞく矽化物的ぶってきせいほどたたえため自我じがたいじゅん金屬きんぞく矽化ぶつせいほど(Self-Aligned Silicide),通常つうじょう簡稱salicideせいほど
  3. とうかね氧半じょうこうでんあきらからだてき尺寸しゃくすんちぢみてき非常ひじょうしょう、閘極氧化そう也變どく非常ひじょううすれい現在げんざいてきせいほど以把氧化そうちぢみいたいち奈米左右さゆうてきあつたび,一種過去沒有發現的現象也隨之產生,這種現象げんしょうたたえためあきら矽空とぼしとうかね氧半じょうこうでんあきらからだてき反轉はんてんそう形成けいせいゆうあきら矽空とぼし現象げんしょうてききん氧半じょうこうでんあきらからだ閘極あきら矽靠きん氧化そうしょかい出現しゅつげんいちむなしとぼしそう(depletion layer),影響えいきょうきん氧半じょうこうでんあきらからだ導通どうつうてき特性とくせいよう解決かいけつ這種問題もんだい金屬きんぞく閘極さいこのみてき方案ほうあん目前もくぜんぎょうてき材料ざいりょう包括ほうかつ氮化鉭(Tantalum Nitride),ある氮化鈦(Titanium Nitride)。這些金屬きんぞく閘極どおり常和ときわだかかいでん係數けいすう物質ぶっしつ形成けいせいてき氧化そういちおこり構成こうせいMOSでんよう。另外一種解決方案是將多晶矽完全的合金化,しょうためFUSI(FUlly-SIlicide polysilicon gate)せいほど

各種かくしゅ常見つねみてききん氧半じょうこうでんあきらからだ技術ぎじゅつ[编辑]

そう閘極きん氧半じょうこうでんあきらからだ[编辑]

そう閘極(dual-gate)きむ氧半じょうこうでんあきらからだどおり常用じょうようざいしきせきたい電路でんろなか,這種きん氧半じょうこうでんあきらからだてき兩個りゃんこ閘極以控せい電流でんりゅう大小だいしょうざいしき電路でんろてき應用おうようじょうそう閘極きん氧半じょうこうでんあきらからだてきだい二個閘極大多數用來做增益、こんしきうつわあるしきりつ轉換てんかんてきひかえせい

そらとぼししきMOSFETS[编辑]

一般いっぱん而言,そらとぼししき(depletion mode)きむ氧半じょうこうでんあきらからだ前述ぜんじゅつてききょうしき(enhancement mode)きむ氧半じょうこうでんあきらからだしょうそらとぼししききん氧半じょうこうでんあきらからだざい製造せいぞう過程かていちゅう改變かいへん摻雜いたつうどうてきざつしつ濃度のうど使つかいとく這種きん氧半じょうこうでんあきらからだてき閘極就算ぼつ有加ゆか電壓でんあつつうどう仍然存在そんざい。如果おもえようせき閉通どうのり必須ひっすざい閘極ほどこせ電壓でんあつたいNMOS而言)。そらとぼししききん氧半じょうこうでんあきらからだぞく於「つね閉型」(normally-closed,ON)てきひらきせき,而相たいてききょうしききん氧半じょうこうでんあきらからだそくぞく於「つねだんがた」(normally-open,OFF)てきひらきせき

NMOS邏輯[编辑]

同樣どうよう驅動くどう能力のうりょくてきNMOS通常つうじょうPMOSしょ佔用てき面積めんせきしょういん此如はてただざい邏輯閘的設計せっけいじょう使用しようNMOSてきばなし也能縮小しゅくしょうあきらかた面積めんせきNMOS邏輯雖然佔的面積めんせきしょう,卻無ほうぞうCMOS邏輯一樣做到不消耗靜態功率,いん此在1980年代ねんだい中期ちゅうきやめけいやややや退出たいしゅつ市場いちば目前もくぜん以CMOSため主流しゅりゅう

こうりつきん氧半じょうこうでんあきらからだ[编辑]

こうりつでんあきらからだ單元たんげんてき截面通常つうじょう一個市售的功率電晶體都包含了數千個這樣的單元。

こうりつきん氧半じょうこうでんあきらたい(Power MOSFET)かず前述ぜんじゅつてききん氧半じょうこうでんあきらからだもとけんざい結構けっこうじょう就有ちょ顯著けんちょてき差異さい一般いっぱんせきたい電路でんろうらてききん氧半じょうこうでんあきらからだ平面へいめんしき(planar)てき結構けっこうでんあきらからだ內的かく端點たんてんはなれあきらかた表面ひょうめんただゆういくほろべいてき距離きょり。而所有しょゆうてきこうりつもとけん垂直すいちょくしき(vertical)てき結構けっこうゆずるもとけん以同うけたまわ受高電壓でんあつあずかこう電流でんりゅうてき工作こうさく環境かんきょういちこうりつきん氧半じょうこうでんあきらからだのうたい受的電壓でんあつざつしつ摻雜濃度のうどあずかn-type磊晶そう(epitaxial layer)あつてき函數かんすう,而能通過つうかてき電流でんりゅう則和のりかずもとけんてきどおり道寬みちひろゆうせきつうどうこしひろしのりのうようおさめえつ電流でんりゅうたい於一個平面結構的金氧半場效電晶體而言,のううけたまわ受的電流でんりゅう以及崩潰ほうかい電壓でんあつてき多寡たか都和つわ其通どうてきちょう寬大かんだいしょうゆうせきたい垂直すいちょく結構けっこうてききん氧半じょうこうでんあきらたいらいせつもとけんてき面積めんせき其能ようおさめてき電流でんりゅう大約たいやくなりせい,磊晶そうあつ則和のりかず崩潰ほうかい電壓でんあつなりせい

值得いちひさげてき採用さいよう平面へいめんしき結構けっこうてきこうりつきん氧半じょうこうでんあきらからだ也並存在そんざい,這類もとけん主要しゅようようざい高級こうきゅうてき音響おんきょう大器たいきちゅう平面へいめんしきてきこうりつきん氧半じょうこうでんあきらからだざい飽和ほうわてき特性とくせい垂直すいちょく結構けっこうてきたいしゅさらこのみ垂直すいちょくしきこうりつきん氧半じょうこうでんあきらからだそくはんようらい做開せきせつかわこれよう其導通電つうでん阻(turn-on resistance)非常ひじょうしょうてきゆうてん

DMOS[编辑]

DMOSそうじゅう擴散かくさんきん氧半じょうこうでんあきらたい(Double-Diffusedきん氧半じょうこうでんあきらからだてき縮寫しゅくしゃだい部分ぶぶんてきこうりつきん氧半じょうこうでんあきらからだ採用さいよう這種製作せいさく方式ほうしき完成かんせいてき

以金氧半じょうこうでんあきらからだ實現じつげん類比るいひひらけせき[编辑]

きむ氧半じょうこうでんあきらからだざい導通どうつうてきどおりみちでん阻低,而截どめてきでん阻近乎無げんだい所以ゆえん適合てきごう作為さくい類比るいひ訊號てきひらきせき(訊號てきのうりょうかいいんためひらきせきてきでん阻而損失そんしつふと)。きむ氧半じょうこうでんあきらからだ作為さくいひらけせき,其源ごくあずか汲極てき分別ふんべつ其他てき應用おうようふとししょうどうてきいんため訊號以從きん氧半じょうこうでんあきらからだ閘極以外いがいてきにんいちはし進出しんしゅつたいNMOSひらきせき而言,電壓でんあつさいまけてきいちはし就是げんごく,PMOSのりただしこう相反あいはん電壓でんあつさいせいてきいちはしげんごくきむ氧半じょうこうでんあきらからだひらきせきのうでん輸的訊號かい受到其閘きょくげんごく、閘極—汲極,以及汲極いたみなもときょくてき電壓でんあつげんせい,如果超過ちょうかりょう電壓でんあつてき上限じょうげん可能かのうかいしるべ致金氧半じょうこうでんあきらからだしょう毀。

きむ氧半じょうこうでんあきらからだひらきせきてき應用おうよう範圍はんい很廣,舉凡需要じゅようよういたよう保持ほじ電路でんろ(sample-and-hold circuits)ある截波電路でんろ(chopper circuits)てき設計せっけいれい如類すう轉換てんかん(A/D converter)あるせつかわでんよう濾波(switch-capacitor filter)じょう以見いたきむ氧半じょうこうでんあきらからだひらきせきてき蹤影。

たん一金氧半場效電晶體開關[编辑]

とうNMOSようらい做開せき,其源きょく接地せっち,閘極ためひかえせいひらきせきてき端點たんてんとう閘極電壓でんあつげんみなもときょく電壓でんあつ超過ちょうか其導どおりてき臨界りんかい電壓でんあつ,此開せきてき狀態じょうたいため導通どうつう。閘極電壓でんあつ繼續けいぞくますだかのりNMOSのう通過つうかてき電流でんりゅう就更だい。NMOS做開せき操作そうさざいせんせいいんためげんごくあずか汲極てき電壓でんあつざいひらきせきため導通どうつうかい趨向すうこう一致いっち

PMOS做開せき,其源きょくせっいたり電路でんろうら電位でんい最高さいこうてき地方ちほう通常つうじょう電源でんげん。閘極てき電壓でんあつげんごくひく超過ちょうか其臨かい電壓でんあつ,PMOSひらきせきかい打開だかい

NMOSひらきせきのうようもと通過つうかてき電壓でんあつ上限じょうげんため(Vgate-Vthn),而PMOSひらきせきそくため(Vgate+Vthp),這個值通常つうじょう訊號原本げんぽんてき電壓でんあつ振幅しんぷく,也就せつたん一金氧半場效電晶體開關會有讓訊號振幅變小、訊號しつしんてき缺點けってん

そうじゅう(互補しききむ氧半じょうこうでんあきらたい(CMOS, Complementary MOS)ひらきせき[编辑]

ためりょう改善かいぜん前述ぜんじゅつたん一金氧半場效電晶體開關造成訊號失真的缺點,於是使用しよういちPMOSじょういちNMOSてきCMOSひらきせき(Transmission gate)なりため目前もくぜんさい普遍ふへんてき做法。CMOSひらけせきすすむPMOSあずかNMOSてきげんごくあずか汲極分別ふんべつ連接れんせつざい一起かずき,而基きょくてきせっほう則和のりかずNMOSあずかPMOSてき傳統でんとうせっ法相ほうしょうどう(PMOSてきもときょくせっいた最高さいこう電壓でんあつそくVDD;NMOSてきもときょくせっいた最低さいてい電壓でんあつそくVSSあるGND)。ようれいひらきせき導通どうつうのりPMOSてき閘極せってい電位でんい(VSSあるGND),NMOSてき閘極せっだか電位でんい(VDD)。とう輸入ゆにゅう電壓でんあつざい(VDD-Vthnいた(VSS+Vthp,PMOSあずかNMOS導通どうつう,而輸入ゆにゅうしょう於(VSS+VthpただゆうNMOS導通どうつう輸入ゆにゅうだい於(VDD-VthnただゆうPMOS導通どうつう,這樣做的こうしょざいだい部分ぶぶんてき輸入ゆにゅう電壓でんあつ,PMOSあずかNMOSみな同時どうじ導通どうつう,如果にん一邊的導通電阻上升,のり另一邊的導通電阻就會下降,しょ以開せきてきでん阻幾乎可以保持ほじてい值,減少げんしょう訊號しつしん

参考さんこう文献ぶんけん[编辑]

引用いんよう[编辑]

  1. ^ This model was introduced by H Shichman and DA Hodges. Modeling and simulation of insulated-gate field-effect transistor switching circuits. IEEE Journal of Solid-state circuits. 1968, SC–3: 285–289 [2014-12-23]. doi:10.1109/JSSC.1968.1049902. (原始げんし内容ないようそん于2013-06-10).  and often is called the Shichman-Hodges model.
  2. ^ For example, see Yuhua Cheng, Chenming Hu. MOSFET modeling & BSIM3 user's guide. Springer. 1999. ISBN 0-7923-8575-6. . The most recent version of the BSIM model is described in Sriramkumar V., Navid Paydavosi,Darsen Lu, Chung-Hsun Lin,Mohan Dunga, Shijing Yao, Tanvir Morshed,Ali Niknejad, and Chenming Hu. BSIM-CMG 106.1.0beta Multi-Gate MOSFET Compact Model (PDF). Department of EE and CS, UC Berkeley. 2012 [2012-04-01]. (原始げんし内容ないよう (PDF)そん档于2014-07-27). 
  3. ^ C Galup-Montoro & Schneider MC. MOSFET modeling for circuit analysis and design. London/Singapore: World Scientific. 2007: 83 [2014-12-23]. ISBN 981-256-810-7. (原始げんし内容ないようそん于2010-01-12). 
  4. ^ Norbert R Malik. Electronic circuits: analysis, simulation, and design. Englewood Cliffs, NJ: Prentice Hall. 1995: 315–316 [2014-12-23]. ISBN 0-02-374910-5. (原始げんし内容ないようそん于2009-04-27). 
  5. ^ PR Gray, PJ Hurst, SH Lewis & RG Meyer. §1.5.2 p. 45. [2014-12-23]. ISBN 0-471-32168-0. (原始げんし内容ないようそん于2009-04-28). 
  6. ^ A. S. Sedra and K.C. Smith. Microelectronic circuits Fifth Edition. New York: Oxford. 2004: 552 [2014-12-23]. ISBN 0-19-514251-9. (原始げんし内容ないようそん于2009-02-04). 

らいみなもと[编辑]

外部がいぶ連結れんけつ[编辑]