顯微鏡 けんびきょう 下 か 的 てき 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 測 はか 試用 しよう 元 もと 件 けん 。圖 ず 中有 ちゅうう 兩個 りゃんこ 閘極的 てき 接 せっ 墊(pads)以及三組源極與汲極的接墊。
金屬 きんぞく 氧化物 ぶつ 半導體 はんどうたい 場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ (簡稱:金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ ;英語 えいご :Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor ,縮寫 しゅくしゃ :MOSFET ),是 ぜ 一種可以廣泛使用在模 かたぎ 拟電路 ろ 與 あずか 数字 すうじ 電路 でんろ 的 てき 場 ば 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 。金屬 きんぞく 氧化物 ぶつ 半導體 はんどうたい 場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 依 よ 照 あきら 其通道 どう 極性 きょくせい 的 てき 不同 ふどう ,可分 かぶん 為 ため 电子占 うらない 多数 たすう 的 てき N通 どおり 道 みち 型 がた 與 あずか 空 そら 穴 あな 占 うらない 多数 たすう 的 てき P通 どおり 道 みち 型 がた ,通常 つうじょう 被 ひ 稱 しょう 為 ため N型 かた 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 たい (NMOSFET)與 あずか P型 かた 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 たい (PMOSFET)。
以金氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 たい (MOSFET)的 てき 命名 めいめい 來 らい 看 み ,事實 じじつ 上 うえ 會 かい 讓 ゆずる 人 じん 得 え 到 いた 錯誤 さくご 的 てき 印象 いんしょう 。因 よし 為 ため MOSFET跟英文 えいぶん 單 たん 字 じ 「metal(金屬 きんぞく )」的 てき 第 だい 一 いち 個 こ 字母 じぼ M,在 ざい 當 とう 下大部 しもおおべ 分 ぶん 同類 どうるい 的 てき 元 もと 件 けん 裡 うら 是 ぜ 不 ふ 存在 そんざい 的 てき 。早期 そうき 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 閘極 使用 しよう 金屬 きんぞく 作為 さくい 材料 ざいりょう ,但 ただし 由 よし 於多 た 晶 あきら 矽在 ざい 製造 せいぞう 工藝 こうげい 中 ちゅう 更 さら 耐 たい 高溫 こうおん 等 とう 特 とく 點 てん ,許多 きょた 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 閘極採用 さいよう 後者 こうしゃ 而非前者 ぜんしゃ 金屬 きんぞく 。然 しか 而,隨 ずい 著 ちょ 半導體 はんどうたい 特徵 とくちょう 尺寸 しゃくすん 的 てき 不斷 ふだん 縮小 しゅくしょう ,金屬 きんぞく 作為 さくい 閘極材料 ざいりょう 最近 さいきん 又 また 再 さい 次 つぎ 得 え 到 いた 了 りょう 研究 けんきゅう 人員 じんいん 的 てき 注意 ちゅうい 。
金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 在 ざい 概念 がいねん 上 じょう 屬 ぞく 於絕緣 ぜつえん 閘極場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 たい (Insulated-Gate Field Effect Transistor, IGFET )。而絕緣 ぜつえん 閘極場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 的 てき 閘極絕緣 ぜつえん 層 そう ,有 ゆう 可能 かのう 是 ぜ 其他物質 ぶっしつ ,而非金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 使用 しよう 的 てき 氧化層 そう 。有 ゆう 些人在 ざい 提 ひっさげ 到 いた 擁 よう 有 ゆう 多 た 晶 あきら 矽閘極 ごく 的場 まとば 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 元 もと 件 けん 時 じ 比較 ひかく 喜 き 歡用IGFET,但 ただし 是 ぜ 這些IGFET多 た 半 はん 指 ゆび 的 てき 是 ぜ 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 たい 。
金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 裡 うら 的 てき 氧化層 そう 位 い 於其通 どおり 道 どう 上方 かみがた ,依 よ 照 あきら 其操作 そうさ 電壓 でんあつ 的 てき 不同 ふどう ,這層氧化物的 ぶってき 厚 あつ 度 たび 僅有數 すう 十 じゅう 至 いたり 數 すう 百 ひゃく 埃 ほこり (Å)不等 ふとう ,通常 つうじょう 材料 ざいりょう 是 ぜ 二 に 氧化硅 (SiO2 ),不 ふ 過 か 有 ゆう 些新的 てき 進 しん 階 かい 製 せい 程 ほど 已 やめ 經 けい 可 か 以使用 しよう 如氮氧化 か 硅 (silicon oxynitride, SiON)做為氧化層 そう 之 これ 用 よう 。
今日 きょう 半導體 はんどうたい 元 もと 件 けん 的 てき 材料 ざいりょう 通常 つうじょう 以矽 為 ため 首 くび 選 せん ,但 ただし 是也 これや 有 ゆう 些半導體 はんどうたい 公司 こうし 發展 はってん 出 で 使用 しよう 其他半導體 はんどうたい 材料 ざいりょう 的 てき 製 せい 程 ほど ,當 とう 中 ちゅう 最 さい 著名 ちょめい 的 てき 例 れい 如國際 こくさい 商業 しょうぎょう 機器 きき 股 また 份有限 げん 公司 こうし 使用 しよう 硅與鍺 的 てき 混合 こんごう 物 ぶつ 所 しょ 發展 はってん 的 てき 矽鍺製 せい 程 ほど (SiGe process)。而可惜的是 ぜ 很多擁 よう 有 ゆう 良好 りょうこう 電 でん 性的 せいてき 半導體 はんどうたい 材料 ざいりょう ,如砷化鎵 (GaAs),因 いん 為 ため 無法 むほう 在 ざい 表面 ひょうめん 長 ちょう 出品 しゅっぴん 質 しつ 夠好的 てき 氧化層 そう ,所以 ゆえん 無法 むほう 用 よう 來 らい 製造 せいぞう 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 元 もと 件 けん 。
當 とう 一 いち 個 こ 夠大的 てき 電位差 でんいさ 施 ほどこせ 於金氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 的 てき 閘極與 あずか 源 みなもと 極 きょく 之 の 間 あいだ 時 じ ,電場 でんじょう 會 かい 在 ざい 氧化層 そう 下方 かほう 的 てき 半導體 はんどうたい 表面 ひょうめん 形成 けいせい 感應 かんおう 電荷 でんか ,而這時 じ 就會形成 けいせい 反轉 はんてん 通 どおり 道 どう (inversion channel)。通 つう 道 どう 的 てき 極性 きょくせい 與 あずか 其汲極 きょく (drain)與 あずか 源 みなもと 極 きょく 相 しょう 同 どう ,假設 かせつ 汲極和 わ 源 げん 極 ごく 是 ぜ n型 がた ,那 な 麼通道也 みちや 會 かい 是 ぜ n型 がた 。通 つう 道 どう 形成 けいせい 後 ご ,金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 即 そく 可 か 讓 ゆずる 電流 でんりゅう 通過 つうか ,而依據 いきょ 施 ほどこせ 於閘極 きょく 的 てき 電壓 でんあつ 值不同 ふどう ,可 か 由 よし 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 的 てき 通 どおり 道 みち 流 りゅう 過 か 的 てき 電流 でんりゅう 大小 だいしょう 亦 また 會 かい 受其控 ひかえ 制 せい 而改變 かいへん 。
電路 でんろ 符號 ふごう [ 编辑 ]
常用 じょうよう 於金氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 的 てき 電路 でんろ 符號 ふごう 有 ゆう 多種 たしゅ 形式 けいしき ,最 さい 常見 つねみ 的 てき 設計 せっけい 是 ぜ 以一 いち 條 じょう 垂直 すいちょく 線 せん 代表 だいひょう 通 どおり 道 どう (Channel),兩 りょう 條 じょう 和 わ 通 どおり 道 どう 平行 へいこう 的 てき 接線 せっせん 代表 だいひょう 源 げん 極 ごく (Source)與 あずか 汲極(Drain),左 ひだり 方 かた 和 わ 通 どおり 道 どう 垂直 すいちょく 的 てき 接線 せっせん 代表 だいひょう 閘極(Gate),如下圖 ず 所 しょ 示 しめせ 。有 ゆう 時 じ 也會將 しょう 代表 だいひょう 通 どおり 道 どう 的 てき 直線 ちょくせん 以虛線 せん 代替 だいたい ,以區分 くぶん 增强 ぞうきょう 型 がた (enhancement mode,又 また 稱 たたえ 增强 ぞうきょう 式 しき )金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 或 ある 是 ぜ 耗尽型 がた (depletion mode,又 また 稱 たたえ 空 むなし 乏 とぼし 式 しき )金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 。
由 よし 於集成 しゅうせい 電路 でんろ 晶 あきら 片上 かたがみ 的 てき 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 為 ため 四 よん 端 はし 元 もと 件 けん ,所以 ゆえん 除 じょ 了 りょう 源 げん 極 ごく (S)、汲極(D)、閘極(G)外 そと ,尚 なお 有一 ゆういち 基 もと 極 きょく (Bulk或 ある 是 ぜ Body)。金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 電路 でんろ 符號 ふごう 中 ちゅう ,從 したがえ 通 どおり 道 どう 往右延伸 えんしん 的 てき 箭 や 號 ごう 方向 ほうこう 則 そく 可 か 表示 ひょうじ 此元件 けん 為 ため n型 がた 或 ある 是 ぜ p型 がた 的 てき 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 たい 。箭 や 頭 あたま 方向 ほうこう 永遠 えいえん 從 したがえ P端 はし 指向 しこう N端 はし ,所以 ゆえん 箭 や 頭 あたま 從 したがえ 通 どおり 道 どう 指向 しこう 基 もと 極端 きょくたん 的 てき 為 ため p型 がた 的 てき 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ ,或 ある 簡稱PMOS(代表 だいひょう 此元件 けん 的 てき 通 どおり 道 どう 為 ため p型 がた );反 はん 之 これ 則 そく 代表 だいひょう 基 もと 極 ごく 為 ため p型 がた ,而通道 どう 為 ため n型 がた ,此元件 けん 為 ため n型 がた 的 てき 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ ,簡稱NMOS。在 ざい 一般分散式金氧半場效電晶體元件中,通常 つうじょう 把 わ 基 もと 極 ごく 和 わ 源 げん 極 ごく 接 せっ 在 ざい 一起 かずき ,故 こ 分散 ぶんさん 式 しき 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 通常 つうじょう 為 ため 三 さん 端 はし 元 もと 件 けん 。而在積 せき 體 たい 電路 でんろ 中 ちゅう 的 てき 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 通常 つうじょう 因 いん 為 ため 使用 しよう 同 どう 一 いち 個 こ 基 もと 極 きょく (common bulk),所以 ゆえん 不 ふ 標示 ひょうじ 出 で 基 もと 極 きょく 的 てき 極性 きょくせい ,而在PMOS的 てき 閘極端 はし 多 た 加 か 一 いち 個 こ 圓 えん 圈 けん 以示區別 くべつ 。
幾 いく 種 しゅ 常見 つねみ 的 てき MOSFET電路 でんろ 符號 ふごう ,加 か 上 じょう 接 せっ 面 めん 場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 一起 かずき 比較 ひかく :
P沟道
N沟道
JFET
增强 ぞうきょう 型 がた MOSFET
增强 ぞうきょう 型 がた MOSFET(省略 しょうりゃく 基 もと 極 きょく )
空 そら 乏 とぼし 型 がた MOSFET
上 うえ 圖 ず 中 ちゅう 的 てき 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 符號 ふごう 中 ちゅう ,基 もと 極端 きょくたん 和 わ 源 げん 極端 きょくたん 均 ひとし 接 せっ 在 ざい 一起 かずき ,一般 いっぱん 分立 ぶんりつ 元 もと 件 けん 的 てき MOSFET幾 いく 乎均如此,但 ただし 在 ざい 積 せき 體 たい 電路 でんろ 中 なか 的 てき 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 則 そく 並 なみ 不 ふ 一定 いってい 是 ぜ 這樣連接 れんせつ 。通常 つうじょう 一 いち 顆積 せき 體 たい 電路 でんろ 晶 あきら 片 かた 中 ちゅう 相 しょう 同 どう 通 つう 道 どう 的 てき 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 都 と 共 ども 享 とおる 同 どう 一 いち 個 こ 基 もと 極 ごく ,故 こ 某 ぼう 些情況 きょう 下 か 的 てき 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 たい 可能 かのう 會 かい 使 し 得 とく 源 げん 極 ごく 和 かず 基 はじめ 極 ごく 並 なみ 非 ひ 直接 ちょくせつ 連 れん 在 ざい 一 いち 起 おこり ,例 れい 如串疊 たたみ 式 しき 電流 でんりゅう 源 げん (cascode current source)電路 でんろ 中 ちゅう 的 てき 部 ぶ 份NMOS就是如此。基 もと 極 ごく 與 あずか 源 みなもと 極 きょく 沒 ぼつ 有 ゆう 直接 ちょくせつ 相 しょう 連 れん 的 てき 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 會 かい 出現 しゅつげん 基板 きばん 效 こう 應 おう (body effect)而部份改變 かいへん 其操作 そうさ 特性 とくせい ,將 はた 在 ざい 後 ご 面 めん 的 てき 章節 しょうせつ 中 ちゅう 詳述 しょうじゅつ 。
金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 的 てき 操作 そうさ 原理 げんり [ 编辑 ]
金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 的 てき 核心 かくしん [ 编辑 ]
多 た 晶 あきら 矽—氧化層 そう —半導體 はんどうたい 結構 けっこう
场效应管在 ざい 不同 ふどう 栅极 厚 あつ 度 たび 下 した 的 てき C-V特性 とくせい 曲 きょく 线。左 ひだり 侧为积累,中 ちゅう 间为耗尽,右 みぎ 侧为反 はん 型 がた (反 はん 转)
金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 在 ざい 結構 けっこう 上 じょう 以一 いち 個 こ 金屬 きんぞく —氧化物 ぶつ 層 そう —半導體 はんどうたい 的 てき 電 でん 容 よう 為 ため 核心 かくしん (現在 げんざい 的 てき 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 多 た 半 はん 以多 た 晶 あきら 矽取 と 代 だい 金屬 きんぞく 作為 さくい 其閘極 ごく 材料 ざいりょう ),氧化層 そう 的 てき 材料 ざいりょう 多 た 半 はん 是 ぜ 二 に 氧化矽 ,其下是 ぜ 作為 さくい 基 もと 極 きょく 的 てき 矽 ,而其上 じょう 則 のり 是 ぜ 作為 さくい 閘極的 てき 多 た 晶 あきら 矽 。這樣的 てき 結構 けっこう 正 せい 好 このみ 等 とう 於一 いち 個 こ 電 でん 容器 ようき ,氧化層 そう 為 ため 電 でん 容器 ようき 中 ちゅう 介 かい 電 でん 質 しつ ,而電容 よう 值由氧化層 そう 的 てき 厚 あつ 度 たび 與 あずか 二 に 氧化矽的介 かい 電 でん 係數 けいすう 來 らい 決定 けってい 。閘極多 た 晶 あきら 矽與基 もと 極 きょく 的 てき 矽 則 のり 成 なり 為 ため MOS電 でん 容 よう 的 てき 兩個 りゃんこ 端點 たんてん 。
當 とう 一個電壓施加在MOS電 でん 容 よう 的 てき 兩端 りょうたん 時 じ ,半導體 はんどうたい 的 てき 電荷 でんか 分 ぶん 佈也會 かい 跟著改變 かいへん 。
累 るい 积[ 编辑 ]
考慮 こうりょ 一 いち 個 こ p型 がた 的 てき 半導體 はんどうたい (電 でん 洞 ほら 濃度 のうど 為 ため NA )形成 けいせい 的 てき MOS電 でん 容 よう ,当 とう 给电容器 ようき 加 か 负电压时,电荷增加 ぞうか (如C-V曲 きょく 线左侧所示 しめせ )。
相反 あいはん ,當 とう 一 いち 個 こ 正 せい 的 てき 電壓 でんあつ VGD 施 ほどこせ 加 か 在 ざい 閘極與 あずか 基 もと 極端 きょくたん (如圖)時 じ ,電 でん 洞 ほら 的 てき 濃度 のうど 會 かい 減少 げんしょう (称 しょう 为耗尽 つき ,如C-V曲 きょく 线中间所示 しめせ ),電子 でんし 的 てき 濃度 のうど 會 かい 增加 ぞうか 。
反 はん 型 かた [ 编辑 ]
當 とう VGS 夠強時 じ ,接近 せっきん 閘極端 はし 的 てき 電子 でんし 濃度 のうど 會 かい 超過 ちょうか 電 でん 洞 ほら 。這個在 ざい p-type半導體 はんどうたい 中 ちゅう ,電子 でんし 濃度 のうど (帶 おび 負 ふ 電荷 でんか )超過 ちょうか 電 でん 洞 ほら (帶 おび 正 せい 電荷 でんか )濃度 のうど 的 てき 區域 くいき ,便 びん 是 ぜ 所謂 いわゆる 的 てき 反轉 はんてん 層 そう (inversion layer),如C-V曲 きょく 线右侧所示 しめせ 。
MOS電 でん 容 よう 的 てき 特性 とくせい 決定 けってい 了 りょう 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 的 てき 操作 そうさ 特性 とくせい ,但 ただし 是 ぜ 一個完整的金氧半場效電晶體結構還需要一個提供多數 たすう 載 の 子 こ (majority carrier)的 てき 源 げん 極 ごく 以及接受 せつじゅ 這些多數 たすう 載 の 子 こ 的 てき 汲極。
金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 的 てき 結構 けっこう [ 编辑 ]
一 いち 個 こ NMOS電 でん 晶 あきら 體 からだ 的 てき 立體 りったい 截面圖 ず
左 ひだり 圖 ず 是 ぜ 一 いち 個 こ n-type金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 たい (以下 いか 簡稱NMOS)的 てき 截面圖 ず 。如前所 しょ 述 じゅつ ,金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 的 てき 核心 かくしん 是 ぜ 位 い 於中央 ちゅうおう 的 てき MOS電 でん 容 よう ,而左右 さゆう 兩側 りょうがわ 則 そく 是 ぜ 它的源 げん 極 ごく 與 あずか 汲極。源 みなもと 極 ごく 與 あずか 汲極的 てき 特性 とくせい 必須 ひっす 同 どう 為 ため n-type(即 そく NMOS)或 ある 是 ぜ 同 どう 為 ため p-type(即 そく PMOS)。左 ひだり 圖 ず NMOS的 てき 源 げん 極 ごく 與 あずか 汲極上 じょう 標示 ひょうじ 的 てき 「N+」代表 だいひょう 著 ちょ 兩個 りゃんこ 意義 いぎ :(1)N代表 だいひょう 摻雜(doped)在 ざい 源 みなもと 極 ごく 與 あずか 汲極區域 くいき 的 てき 雜 ざつ 質 しつ 極性 きょくせい 為 ため N;(2)「+」代表 だいひょう 這個區域 くいき 為 ため 高 だか 摻雜濃度 のうど 區域 くいき (heavily doped region),也就是 ぜ 此區的 てき 電子 でんし 濃度 のうど 遠 とお 高 こう 於其他 た 區域 くいき 。在 ざい 源 みなもと 極 ごく 與 あずか 汲極之 の 間 あいだ 被 ひ 一個極性相反的區域隔開,也就是 ぜ 所謂 いわゆる 的 てき 基 もと 極 きょく (或 ある 稱 しょう 基體 きたい )區域 くいき 。如果是 ぜ NMOS,那 な 麼其基體 きたい 區 く 的 てき 摻雜就是p-type。反 はん 之 これ 對 たい PMOS而言,基體 きたい 應 おう 該是n-type,而源極 ごく 與 あずか 汲極則 そく 為 ため p-type(而且是重 これしげ 摻雜的 てき P+)。基體 きたい 的 てき 摻雜濃度 のうど 不 ふ 需要 じゅよう 如源極 ごく 或 ある 汲極那 な 麼高,故 こ 在 ざい 左 ひだり 圖 ず 中 ちゅう 沒 ぼつ 有 ゆう 「+」,作為 さくい 通 どおり 道 みち 用 よう 。
對 たい 這個NMOS而言,真正 しんせい 用 よう 來 らい 作為 さくい 通 どおり 道 どう 、讓 ゆずる 載 の 子 こ 通過 つうか 的 てき 只 ただ 有 ゆう MOS電 でん 容 よう 正 せい 下方 かほう 半導體 はんどうたい 的 てき 表面 ひょうめん 區域 くいき 。當 とう 一個正電壓施加在閘極上,帶 たい 負 まけ 電 でん 的 てき 電子 でんし 就會被 ひ 吸引 きゅういん 至 いたり 表面 ひょうめん ,形成 けいせい 通 どおり 道 どう ,讓 ゆずる n-type半導體 はんどうたい 的 てき 多數 たすう 載 の 子 こ —電子 でんし 可 か 以從源 げん 極 きょく 流 りゅう 向 こう 汲極。如果這個電壓 でんあつ 被 ひ 移 うつり 除 じょ ,或 ある 是 ぜ 放 ひ 上 うえ 一 いち 個 こ 負 まけ 電壓 でんあつ ,那 な 麼通道 どう 就無法 ほう 形成 けいせい ,載 の 子 こ 也無法 ほう 在 ざい 源 げん 極 ごく 與 あずか 汲極之 の 間 あいだ 流動 りゅうどう ,也就是 ぜ 可 か 以透過 とうか 閘極的 てき 電壓 でんあつ 控 ひかえ 制 せい 通 どおり 道 どう 的 てき 開 ひらき 關 せき 。
假設 かせつ 操作 そうさ 的 てき 對象 たいしょう 換 かわ 成 なる PMOS,那 な 麼源極 ごく 與 あずか 汲極為 ため p-type、基體 きたい 則 そく 是 ぜ n-type。在 ざい PMOS的 てき 閘極上 じょう 施 ほどこせ 加 か 負 ふ 電壓 でんあつ ,則 のり 半導體 はんどうたい 上 じょう 的 てき 空 そら 穴 あな 會 かい 被 ひ 吸引 きゅういん 到 いた 表面 ひょうめん 形成 けいせい 通 どおり 道 どう ,半導體 はんどうたい 的 てき 多數 たすう 載 の 子 こ —空 そら 穴 あな 則 そく 可 か 以從源 げん 極 きょく 流 りゅう 向 こう 汲極。假設 かせつ 這個負 ふ 電壓 でんあつ 被 ひ 移 うつり 除 じょ ,或 ある 是 ぜ 加 か 上正 かみしょう 電壓 でんあつ ,那 な 麼通道 どう 無法 むほう 形成 けいせい ,一樣無法讓載子在源極和汲極間流動。
特別 とくべつ 要 よう 說明 せつめい 的 てき 是 ぜ ,源 みなもと 極 きょく 在 ざい 金 かね 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 裡 うら 的 てき 意思 いし 是 ぜ 「提供 ていきょう 多數 たすう 載 の 子 こ 的 てき 來 らい 源 げん 」 。對 たい NMOS而言,多數 たすう 載 の 子 こ 是 ぜ 電子 でんし ;對 たい PMOS而言,多數 たすう 載 の 子 こ 是 ぜ 空 そら 穴 あな 。相對 そうたい 的 てき ,汲極就是接受 せつじゅ 多數 たすう 載 の 子 こ 的 てき 端點 たんてん 。
金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 的 てき 操作 そうさ 模 も 式 しき [ 编辑 ]
Ohmic contact to body to ensure no body bias; top left:subthreshold, top right:Ohmic mode, bottom left:Active mode at onset of pinch-off, bottom right: Active mode well into pinch-off – channel length modulation evident
左 ひだり 图为
I
D
S
−
V
G
S
{\displaystyle I_{DS}-V_{GS}}
计算机 つくえ 仿真曲 きょく 线。临界电压 在 ざい 0.45V左右 さゆう 。右 みぎ 图展现的纳米线MOSFET中 ちゅう 反 はん 型 かた 沟道的 てき 形成 けいせい (电子密度 みつど 的 てき 变化)。
依 よ 照 あきら 在 ざい 金 かね 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 的 てき 閘極、源 みなもと 極 きょく ,與 あずか 汲極等 とう 三 さん 個 こ 端點 たんてん 施 ほどこせ 加 か 的 てき 偏 へん 置 おけ (bias)不同 ふどう ,金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 たい 將 はた 有 ゆう 下 か 列 れつ 三 さん 種 しゅ 操作 そうさ 模 も 式 しき 。下面 かめん 将 はた 以一种简化代数模型来讨论。[1] 现代MOS管 かん 的 てき 特性 とくせい 比 ひ 这里展示 てんじ 的 てき 代数 だいすう 模型 もけい 更 さら 加 か 复杂。[2]
对于增强 ぞうきょう 型 がた N沟道MOS管 かん 来 らい 说,这3种工作 こうさく 模 も 式 しき 分 ぶん 别为:
截止區 く (次 つぎ 臨界 りんかい 區 く 或 ある 弱 じゃく 反轉 はんてん 區 く )(cutoff, subthreshold or weak-inversion mode)
當 とう |VGS | < |Vth | 时:
|VGS | 代表 だいひょう 閘極到 いた 源 みなもと 極 きょく 的 てき 偏 へん 壓 あつ 差 さ ,|Vth | 为材料 りょう 的 てき 臨界 りんかい 電壓 でんあつ 。這個金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 是 ぜ 處 しょ 在 ざい 截止 (cut-off)的 てき 狀態 じょうたい ,通 つう 道 どう 無法 むほう 反轉 はんてん ,並 なみ 沒 ぼつ 有 ゆう 足 あし 夠的多數 たすう 載 の 子 こ ,電流 でんりゅう 無法 むほう 流 りゅう 過 か 這個金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ ,也就是 ぜ 這個金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 不 ふ 導通 どうつう 。
但 ただし 事實 じじつ 上 じょう ,金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 無 む 電流 でんりゅう 通過 つうか 的 てき 敘述和 わ 現實 げんじつ 有 ゆう 些微小 びしょう 的 てき 差異 さい 。在 ざい 真實 しんじつ 的 てき 狀況 じょうきょう 下 か ,因 いん 為 ため 載 の 子 こ 的 てき 能 のう 量 りょう 依 よ 循麦 むぎ 克 かつ 斯韦-玻尔兹曼分布 ぶんぷ 而有高低 こうてい 的 てき 差異 さい 。雖然金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 的 てき 通 どおり 道 みち 沒 ぼつ 有 ゆう 形成 けいせい ,但 ただし 仍然有 ゆう 些具有 ぐゆう 較高能 のう 量的 りょうてき 載 の 子 こ 可 か 以從半導體 はんどうたい 表面 ひょうめん 流 りゅう 至 いたり 汲極。而若是 ぜ |VGS | 略 りゃく 大 だい 於零,但 ただし 小 しょう 於 |Vth | 的 てき 情況 じょうきょう 下 か ,還 かえ 會 かい 有 ゆう 一 いち 個 こ 稱 たたえ 為 ため 弱 じゃく 反轉 はんてん 層 そう (weak inversion layer)的 てき 區域 くいき 在 ざい 半導體 はんどうたい 表面 ひょうめん 出現 しゅつげん ,讓 ゆずる 更 さら 多 おお 載 の 子 こ 流 りゅう 過 か 。透過 とうか 弱 じゃく 反轉 はんてん 而從源 げん 極 きょく 流 りゅう 至 いたり 汲極的 てき 載 の 子 こ 數量 すうりょう 與 あずか |VGS | 的 てき 大小 だいしょう 之 の 間 あいだ 呈 てい 指數 しすう 的 てき 關係 かんけい ,此電流 りゅう 又 また 稱 たたえ 為 ため 亚阈值电流 りゅう (subthreshold current)。
在 ざい 一些擁有大量金氧半場效電晶體的積體電路產品,如动态随 ずい 机 つくえ 存 そん 取 と 存 そん 储器 (DRAM),次 じ 臨界 りんかい 電流 でんりゅう 往往 おうおう 會 かい 造成 ぞうせい 額 がく 外的 がいてき 能 のう 量 りょう 或 ある 功 こう 率 りつ 消耗 しょうもう 。
NMOS的 てき 汲極電流 でんりゅう
I
D
S
{\displaystyle I_{DS}}
與 あずか 汲極電壓 でんあつ 之 の 間 あいだ 在 ざい 不同 ふどう
V
G
S
−
V
t
h
{\displaystyle V_{GS}-V_{th}}
的 てき 關係 かんけい
金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 在 ざい 線 せん 性 せい 區 く 操作 そうさ 的 てき 截面圖 ず
線 せん 性 せい 區 く (三極區或歐姆區)(linear region, triode mode or ohmic mode)[3] [4] ))
當 とう VGS > Vth 且 VGD > Vth 时:
此處 ここら VDS 為 ため NMOS汲極至 いたり 源 げん 極 きょく 的 てき 電壓 でんあつ ,則 のり 這顆NMOS為 ため 導通 どうつう 的 てき 狀況 じょうきょう ,在 ざい 氧化層 そう 下方 かほう 的 てき 通 どおり 道 どう 也已形成 けいせい 。此時這顆NMOS的 てき 行為 こうい 類似 るいじ 一 いち 個 こ 壓 あつ 控 ひかえ 電 でん 阻(voltage-controlled resistor),而由汲極向 むかい 源 はじめ 极流出 りゅうしゅつ 的 てき 電流 でんりゅう 大小 だいしょう 為 ため :
I
D
=
μ みゅー
n
C
o
x
W
L
(
V
G
S
−
V
t
h
−
V
D
S
2
)
V
D
S
{\displaystyle I_{D}=\mu _{n}C_{ox}{\frac {W}{L}}(V_{GS}-V_{th}-{\frac {V_{DS}}{2}})V_{DS}}
μ みゅー n 是 これ 載 の 子 こ 遷移 せんい 率 りつ (carrier mobility)、W是 ぜ 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 的 てき 閘極寬 ひろし 度 ど 、L是 ぜ 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 的 てき 閘極長 ちょう 度 ど ,而Cox 則 のり 是 ぜ 閘極氧化層 そう 的 てき 單位 たんい 電 でん 容 よう 大小 だいしょう 。在 ざい 這個區域 くいき 內,金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 的 てき 電流 でんりゅう —電壓 でんあつ 關係 かんけい 有 ゆう 如一 いち 個 こ 線 せん 性 せい 方程式 ほうていしき ,因 いん 而稱為 ため 線 せん 性 せい 區 く 。
金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 在 ざい 飽和 ほうわ 區 く 操作 そうさ 的 てき 截面圖 ず
飽和 ほうわ 區 く (主動 しゅどう 區 く )(saturation or active mode)[5] [6]
當 とう VGS > Vth 且 VGD < Vth 时:
這顆金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 為 ため 導通 どうつう 的 てき 狀況 じょうきょう ,也形成 けいせい 了 りょう 通 どおり 道 どう 讓 ゆずる 電流 でんりゅう 通過 つうか 。但 ただし 是 ぜ 隨 ずい 著 ちょ 汲極電壓 でんあつ 增加 ぞうか ,超過 ちょうか 閘極電壓 でんあつ 時 じ ,會 かい 使 し 得 とく 接近 せっきん 汲極區 く 的 てき 反轉 はんてん 層 そう 電荷 でんか 為 ため 零 れい ,此處 ここ 的 てき 通 どおり 道 どう 消失 しょうしつ (如圖),這種狀況 じょうきょう 稱 しょう 之 の 為 ため 夾止 (pinch-off)。在 ざい 這種狀況 じょうきょう 下 か ,由 よし 源 げん 極 ごく 出發 しゅっぱつ 的 てき 載 の 子 こ 經由 けいゆ 通 どおり 道 どう 到達 とうたつ 夾止點 てん 時 じ ,會 かい 被 ひ 注入 ちゅうにゅう 汲極周圍 しゅうい 的 てき 空間 くうかん 電荷 でんか 區 く (space charge region),再 さい 被 ひ 電場 でんじょう 掃入汲極。此時通過 つうか 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 的 てき 電流 でんりゅう 與 あずか 其汲極 きょく —源 げん 極 ごく 間 あいだ 的 てき 電壓 でんあつ VDS 無關 むせき ,只 ただ 與 あずか 閘極電壓 でんあつ 有 ゆう 關 せき ,主要 しゅよう 原因 げんいん 在 ざい 於靠近 きん 汲極區 く 的 てき 閘極電壓 でんあつ 已 やめ 經 けい 不足 ふそく 以讓通 どおり 道 どう 反轉 はんてん ,而造成 ぞうせい 所 しょ 能 のう 提供 ていきょう 的 てき 載 の 子 こ 有限 ゆうげん ,限 げん 制 せい 住 じゅう 了 りょう 通 どおり 道 どう 的 てき 電流 でんりゅう 大小 だいしょう ,關係 かんけい 式 しき 如下:
I
D
=
μ みゅー
n
C
o
x
2
W
L
(
V
G
S
−
V
t
h
)
2
{\displaystyle I_{D}={\frac {\mu _{n}C_{ox}}{2}}{\frac {W}{L}}(V_{GS}-V_{th})^{2}}
上述 じょうじゅつ 的 てき 公式 こうしき 也是理想 りそう 狀況 じょうきょう 下 か ,金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 在 ざい 飽和 ほうわ 區 く 操作 そうさ 的 てき 電流 でんりゅう 與 あずか 電壓 でんあつ 關係 かんけい 式 しき 。事實 じじつ 上 じょう 在 ざい 飽和 ほうわ 區 く 的 てき 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 汲極電流 でんりゅう 會 かい 因 いん 為 ため 通 つう 道長 みちなが 度 ど 調 ちょう 變 へん 效 こう 應 おう 而改變 かいへん ,並 なみ 非 ひ 與 あずか VDS 全然 ぜんぜん 無關 むせき 。考慮 こうりょ 通 どおり 道長 みちなが 度 ど 調 ちょう 變 へん 效 こう 應 おう 之 これ 後 ご 的 てき 飽和 ほうわ 區 く 電流 でんりゅう —電壓 でんあつ 關係 かんけい 式 しき 如下:
I
D
=
μ みゅー
n
C
o
x
2
W
L
(
V
G
S
−
V
t
h
)
2
(
1
+
λ らむだ
V
D
S
)
{\displaystyle I_{D}={\frac {\mu _{n}C_{ox}}{2}}{\frac {W}{L}}(V_{GS}-V_{th})^{2}(1+\lambda V_{DS})}
關 せき 於通道長 みちなが 度 ど 調 ちょう 變 へん 效 こう 應 おう 的 てき 成因 せいいん 與 あずか 影響 えいきょう 將 はた 在 ざい 後 ご 面 めん 敘述。
基板 きばん 效 こう 應 おう [ 编辑 ]
一般 いっぱん 而言,源 みなもと 極 きょく 電壓 でんあつ 與 あずか 基板 きばん 電壓 でんあつ 兩者 りょうしゃ 接 せっ 在 ざい 一起 かずき VSB =0,但 ただし 在 ざい 實際 じっさい 上 じょう VSB >0(對 たい P型 がた 基板 きばん 而言),此時基板 きばん 與 あずか 源 みなもと 極 きょく 產 さん 生 せい 逆 ぎゃく 偏 へん ,使 つかい 得 とく 空 むなし 乏 とぼし 區 く 電荷 でんか 增加 ぞうか ,因 いん 此使臨界 りんかい 電壓 でんあつ 增加 ぞうか 的 てき 現象 げんしょう 稱 しょう 為 ため 基板 きばん 效 こう 應 おう (Body Effect)。基板 きばん 效 こう 應 おう 通常 つうじょう 是 ぜ 負 まけ 面 めん 的 てき ,臨界 りんかい 電壓 でんあつ 之 の 變化 へんか 常會 じょうかい 使 し 類比 るいひ 電路 でんろ 或 ある 數 すう 位 い 電路 でんろ 設計 せっけい 更 さら 加 か 複雜 ふくざつ 。MOS受到基板 きばん 效 こう 應 おう 影響 えいきょう ,臨界 りんかい 電壓 でんあつ 會 かい 有 ゆう 所 しょ 改變 かいへん ,公式 こうしき 如下:
V
T
N
=
V
T
O
+
γ がんま
(
V
S
B
+
2
ϕ
−
2
ϕ
)
{\displaystyle V_{TN}=V_{TO}+\gamma \left({\sqrt {V_{SB}+2\phi }}-{\sqrt {2\phi }}\right)}
,
V
T
O
{\displaystyle V_{TO}}
是 これ 基 き 極 ごく 與 あずか 源 みなもと 極 きょく 之 の 間 あいだ 無 む 電位差 でんいさ 時 じ 的 てき 臨界 りんかい 電壓 でんあつ ,
γ がんま
{\displaystyle \gamma }
是 ぜ 基板 きばん 效 こう 應 おう 參 さん 數 すう ,
2
ϕ
{\displaystyle 2\phi }
則 のり 是 ぜ 與 あずか 半導體 はんどうたい 能 のう 階 かい 相關 そうかん 的 てき 參 さん 數 すう (禁 きん 带中线与费米能 のう 级的差 さ 值)。
金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 在 ざい 電子 でんし 電路 でんろ 上 じょう 應用 おうよう 的 てき 優勢 ゆうせい [ 编辑 ]
金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 在 ざい 1960年 ねん 由 ゆかり 貝 かい 爾 なんじ 實驗 じっけん 室 しつ 的 てき D. Kahng 和 わ Martin Atalla 首 くび 次 じ 實 じつ 作成 さくせい 功 こう ,這種元 もと 件 けん 的 てき 操作 そうさ 原理 げんり 和 わ 1947年 ねん 蕭 しょう 克利 かつとし 等 とう 人 ひと 發明 はつめい 的 てき 雙 そう 載 の 子 こ 接 せっ 面 めん 電 でん 晶 あきら 體 からだ 截然 せつぜん 不同 ふどう ,且因為 ため 製 せい 造成 ぞうせい 本 ほん 低廉 ていれん 與 あずか 使用 しよう 面積 めんせき 較小、高 こう 整合 せいごう 度 ど 的 てき 優勢 ゆうせい ,在 ざい 大型 おおがた 積 せき 體 たい 電路 でんろ 或 ある 是 ぜ 超 ちょう 大型 おおがた 積 せき 體 たい 電路 でんろ 的 てき 領域 りょういき 裡 うら ,重要 じゅうよう 性 せい 遠 とお 超過 ちょうか BJT。
近年 きんねん 來由 らいゆ 於金氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 元 もと 件 けん 的 てき 性能 せいのう 逐漸提 ひさげ 升 ます ,除 じょ 了 りょう 傳統 でんとう 上 じょう 應用 おうよう 於諸如微處理 しょり 器 き 、微 ほろ 控 ひかえ 制 せい 器 き 等 とう 數 すう 位 い 訊號處理 しょり 的 てき 場合 ばあい 上 じょう ,也有 やゆう 越來 ごえく 越 えつ 多 た 類比 るいひ 訊號處理 しょり 的 てき 積 せき 體 たい 電路 でんろ 可 か 以用金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 たい 來 らい 實現 じつげん ,以下 いか 分別 ふんべつ 介 かい 紹這些應用 おうよう 。
數 すう 位 い 電路 でんろ [ 编辑 ]
數 すう 位 い 科技 かぎ 的 てき 進步 しんぽ ,如微 ほろ 處理 しょり 器 き 運算 うんざん 效能 こうのう 不斷 ふだん 提 ひさげ 升 ます ,帶 おび 給 きゅう 深入 ふかいり 研 けん 發 はつ 新 しん 一代金氧半場效電晶體更多的動力,這也使 し 得 とく 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 本身 ほんみ 的 てき 操作 そうさ 速度 そくど 越來 ごえく 越 えつ 快 かい ,幾 いく 乎成為 ため 各種 かくしゅ 半導體 はんどうたい 主動 しゅどう 元 もと 件 けん 中 ちゅう 最 さい 快 かい 的 てき 一 いち 種 しゅ 。金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 在 ざい 數 すう 位 い 訊號處理 しょり 上 じょう 最 さい 主要 しゅよう 的 てき 成功 せいこう 來 らい 自 じ 互補式 しき 金屬 きんぞく 氧化物 ぶつ 半導體 はんどうたい 邏輯電路 でんろ 的 てき 發明 はつめい ,這種結構 けっこう 最大 さいだい 的 てき 好 こう 處 しょ 是 ぜ 理論 りろん 上 じょう 不 ふ 會 かい 有 ゆう 靜態 せいたい 的 てき 功 こう 率 りつ 損耗 そんこう ,只 ただ 有 ゆう 在 ざい 邏輯閘 的 てき 切 せつ 換 かわ 動作 どうさ 時 じ 才 ざい 有 ゆう 電流 でんりゅう 通過 つうか 。互補式 しき 金屬 きんぞく 氧化物 ぶつ 半導體 はんどうたい 邏輯閘最基本 きほん 的 てき 成員 せいいん 是 ぜ 互補式 しき 金屬 きんぞく 氧化物 ぶつ 半導體 はんどうたい 反 はん 相 そう 器 き ,而所有 しょゆう 互補式 しき 金屬 きんぞく 氧化物 ぶつ 半導體 はんどうたい 邏輯閘的基本 きほん 操作 そうさ 都 と 如同反 はん 相 そう 器 き 一 いち 樣 よう ,同 どう 一時間內必定只有一種電晶體(NMOS或 ある 是 ぜ PMOS)處 しょ 在 ざい 導通 どうつう 的 てき 狀態 じょうたい 下 か ,另一種必定是截止狀態,這使得 とく 從 したがえ 電源 でんげん 端 はし 到 いた 接地 せっち 端 はし 不 ふ 會 かい 有 ゆう 直接 ちょくせつ 導通 どうつう 的 てき 路 ろ 徑 みち ,大量 たいりょう 節 ぶし 省 しょう 了 りょう 電流 でんりゅう 或 ある 功 こう 率 りつ 的 てき 消耗 しょうもう ,也降低 てい 了 りょう 積 せき 體 たい 電路 でんろ 的 てき 發熱 はつねつ 量 りょう 。
金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 在 ざい 數 すう 位 い 電路 でんろ 上 じょう 應用 おうよう 的 てき 另外一大 いちだい 優勢 ゆうせい 是 ぜ 對 たい 直流 ちょくりゅう 訊號而言,金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 的 てき 閘極端 はし 阻抗為 ため 無限 むげん 大 だい (等 とう 效 こう 於開路 ろ ),也就是 ぜ 理論 りろん 上 じょう 不 ふ 會 かい 有 ゆう 電流 でんりゅう 從 したがえ 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 的 てき 閘極端 はし 流 りゅう 向 こう 電路 でんろ 裡 うら 的 てき 接地 せっち 點 てん ,而是完全 かんぜん 由 よし 電壓 でんあつ 控 ひかえ 制 せい 閘極的 てき 形式 けいしき 。這讓金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 和 わ 他 た 們最主要 しゅよう 的 てき 競爭 きょうそう 對 たい 手 て BJT相 しょう 較之下 か 更 さら 為 ため 省 しょう 電 でん ,而且也更易 えき 於驅動 くどう 。在 ざい CMOS邏輯電路 でんろ 裡 うら ,除 じょ 了 りょう 負 ふ 責 せめ 驅動 くどう 晶 あきら 片 かた 外 そと 負 まけ 載 の (off-chip load)的 てき 驅動 くどう 器 き 外 そと ,每 まい 一級的邏輯閘都只要面對同樣是金氧半場效電晶體的閘極,如此一來較不需考慮邏輯閘本身的驅動力。相 あい 較之下 か ,BJT的 てき 邏輯電路 でんろ (例 れい 如最常見 つねみ 的 てき TTL)就沒有 ゆう 這些優勢 ゆうせい 。金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 的 てき 閘極輸入 ゆにゅう 電 でん 阻無限 げん 大 だい 對 たい 於電路 ろ 設計 せっけい 工程 こうてい 師 し 而言亦 また 有 ゆう 其他優 ゆう 點 てん ,例 れい 如較不 ふ 需考慮 こうりょ 邏輯閘輸出端 では 的 てき 負 ふ 載 の 效 こう 應 おう (loading effect)。
類比 るいひ 電路 でんろ [ 编辑 ]
有 ゆう 一 いち 段 だん 時間 じかん ,金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 並 なみ 非 ひ 類比 るいひ 電路 でんろ 設計 せっけい 工程 こうてい 師 し 的 てき 首 くび 選 せん ,因 いん 為 ため 類比 るいひ 電路 でんろ 設計 せっけい 重視 じゅうし 的 てき 性能 せいのう 參 さん 數 すう ,如電 じょでん 晶 あきら 體 からだ 的 てき 跨 またが 导或 ある 是 ぜ 電流 でんりゅう 的 てき 驅動 くどう 力 りょく 上 じょう ,金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 不 ふ 如BJT來 らい 得 とく 適合 てきごう 類比 るいひ 電路 でんろ 的 てき 需求。但 ただし 是 ぜ 隨 ずい 著 ちょ 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 技術 ぎじゅつ 的 てき 不斷 ふだん 演 えんじ 進 すすむ ,今日 きょう 的 てき CMOS技術 ぎじゅつ 也已經 けい 可 か 以符合 ふごう 很多類比 るいひ 電路 でんろ 的 てき 規格 きかく 需求。再 さい 加 か 上 うえ 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 因 いん 為 ため 結構 けっこう 的 てき 關係 かんけい ,沒 ぼつ 有 ゆう BJT的 てき 一 いち 些致命 いのち 缺點 けってん ,如熱 ねつ 跑脫 (thermal runaway)。另外,金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 在 ざい 線 せん 性 せい 區 く 的 てき 壓 あつ 控 ひかえ 電 でん 阻特性 せい 亦 また 可 か 在 ざい 積 せき 體 たい 電路 でんろ 裡 うら 用 よう 來 らい 取 と 代 だい 傳統 でんとう 的 てき 多 た 晶 あきら 矽電阻 (poly resistor),或 ある 是 ぜ MOS電 でん 容 よう 本身 ほんみ 可 か 以用來 き 取 ど 代 だい 常用 じょうよう 的 てき 多 た 晶 あきら 矽—絕緣 ぜつえん 體 たい —多 た 晶 あきら 矽電容 よう (PIP capacitor),甚至在 ざい 適當 てきとう 的 てき 電路 でんろ 控 ひかえ 制 せい 下 か 可 か 以表現出 げんしゅつ 電 でん 感 かん (inductor)的 てき 特性 とくせい ,這些好 こう 處 しょ 都 と 是 ぜ BJT很難提供 ていきょう 的 てき 。也就是 ぜ 說 せつ ,金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 除 じょ 了 りょう 扮 ふん 演 えんじ 原本 げんぽん 電 でん 晶 あきら 體 からだ 的 てき 角 かく 色 しょく 外 がい ,也可以用來 らい 作為 さくい 類比 るいひ 電路 でんろ 中 ちゅう 大量 たいりょう 使用 しよう 的 てき 被 ひ 動 どう 元 もと 件 けん (passive device)。這樣的 てき 優 ゆう 點 てん 讓 ゆずる 採用 さいよう 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 實現 じつげん 類比 るいひ 電路 でんろ 不 ふ 但 ただし 可 か 以滿足 まんぞく 規格 きかく 上 じょう 的 てき 需求,還 かえ 可 か 以有效 ゆうこう 縮小 しゅくしょう 晶 あきら 片 へん 的 てき 面積 めんせき ,降 くだ 低 てい 生產 せいさん 成本 なりもと 。
隨 ずい 著 ちょ 半導體 はんどうたい 製造 せいぞう 技術 ぎじゅつ 的 てき 進步 しんぽ ,對 たい 於整合 せいごう 更 さら 多功 たこう 能 のう 至 いたり 單 たん 一晶片的需求也跟著大幅提升,此時用金 ようきん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 設計 せっけい 類比 るいひ 電路 でんろ 的 てき 另外一個優點也隨之浮現。為 ため 了 りょう 減少 げんしょう 在 ざい 印刷 いんさつ 電路 でんろ 板 ばん 上 うえ 使用 しよう 的 てき 積 せき 體 たい 電路 でんろ 數量 すうりょう 、減少 げんしょう 封 ふう 裝 そう 成本 なりもと 與 あずか 縮小 しゅくしょう 系統 けいとう 的 てき 體積 たいせき ,很多原本 げんぽん 獨立 どくりつ 的 てき 類比 るいひ 晶 あきら 片 かた 與 あずか 數 すう 位 い 晶 あきら 片 かた 被 ひ 整合 せいごう 至 いたり 同 どう 一 いち 個 こ 晶 あきら 片 かた 內。金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 原本 げんぽん 在 ざい 數 すう 位 い 積 せき 體 たい 電路 でんろ 上 じょう 就有很大的 てき 競爭 きょうそう 優勢 ゆうせい ,在 ざい 類比 るいひ 積 せき 體 たい 電路 でんろ 上 じょう 也大量 りょう 採用 さいよう 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 たい 之 これ 後 ご ,把 わ 這兩種 しゅ 不同 ふどう 功 こう 能 のう 的 てき 電路 でんろ 整合 せいごう 起 おこり 來 らい 的 てき 困難 こんなん 度 ど 也顯著 ちょ 的 てき 下降 かこう 。另外像 ぞう 是 ぜ 某 ぼう 些混合 こんごう 訊號電路 でんろ (Mixed-signal circuits),如類比 るいひ 數 すう 位 い 轉換 てんかん 器 き ,也得以利用金 ようきん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 技術 ぎじゅつ 設計 せっけい 出 で 效能 こうのう 更 さら 好 このみ 的 てき 產品 さんぴん 。
近 きん 年來 ねんらい 還 かえ 有 ゆう 一種整合金氧半場效電晶體與BJT各自 かくじ 優 ゆう 點 てん 的 てき 製 せい 程 ほど 技術 ぎじゅつ :BiCMOS 也越來 ごえく 越 えつ 受歡迎 かんげい 。BJT元 もと 件 けん 在 ざい 驅動 くどう 大 だい 電流 でんりゅう 的 てき 能力 のうりょく 上 じょう 仍然比 ひ 一般 いっぱん 的 てき CMOS優 ゆう 異 こと ,在 ざい 可 か 靠 もたれ 度 ど 方面 ほうめん 也有 やゆう 一 いち 些優勢 ゆうせい ,例 れい 如不容易 ようい 被 かむ 靜 しずか 電 でん 放電 ほうでん 破壞 はかい 。所以 ゆえん 很多同時 どうじ 需要 じゅよう 複雜 ふくざつ 訊號處理 しょり 以及強大 きょうだい 電流 でんりゅう 驅動 くどう 能力 のうりょく 的 てき 積 せき 體 たい 電路 でんろ 產品 さんぴん 會 かい 使用 しよう BiCMOS技術 ぎじゅつ 來 らい 製作 せいさく 。
金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 的 てき 尺寸 しゃくすん 縮 ちぢみ 放 ひ [ 编辑 ]
過去 かこ 數 すう 十 じゅう 年來 ねんらい ,金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 的 てき 尺寸 しゃくすん 不斷 ふだん 地變 ちへん 小 しょう 。早期 そうき 的 てき 積 せき 體 たい 電路 でんろ 金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 製 せい 程 ほど 裡 うら ,通 つう 道長 みちなが 度 ど 約 やく 在 ざい 幾 いく 個 こ 微 ほろ 米 べい 的 てき 等級 とうきゅう 。但 ただし 是 ぜ 到 いた 了 りょう 今日 きょう 的 てき 積 せき 體 たい 電路 でんろ 製 せい 程 ほど ,這個參 さん 數 すう 已 やめ 經 けい 縮小 しゅくしょう 到 いた 了 りょう 幾 いく 十分之一甚至一百分之一。2008年初 ねんしょ ,Intel 開始 かいし 以45奈米 的 てき 技術 ぎじゅつ 來 らい 製造 せいぞう 新 しん 一代 いちだい 的 てき 微 ほろ 處理 しょり 器 き ,實際 じっさい 的 てき 元 もと 件 けん 通 どおり 道長 みちなが 度 ど 可能 かのう 比 ひ 這個數字 すうじ 還 かえ 小 しょう 一 いち 些。至 いたり 90年代 ねんだい 末 まつ ,金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 尺寸 しゃくすん 不斷 ふだん 縮小 しゅくしょう ,讓 ゆずる 積 せき 體 たい 電路 でんろ 的 てき 效能 こうのう 大 だい 大 だい 提 ひさげ 升 ます ,而從歷史 れきし 的 てき 角度 かくど 來 らい 看 み ,這些技術 ぎじゅつ 上 じょう 的 てき 突破 とっぱ 和 わ 半導體 はんどうたい 製 せい 程 ほど 的 てき 進步 しんぽ 有 ゆう 著 ちょ 密 みつ 不可分 ふかぶん 的 てき 關係 かんけい 。
金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 的 てき 尺寸 しゃくすん 縮小 しゅくしょう [ 编辑 ]
基 もと 於以下 か 幾 いく 個 こ 理由 りゆう ,金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 的 てき 尺寸 しゃくすん 能 のう 越 こし 小越 おごし 好 よしみ 。
越 えつ 小 しょう 的 てき 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 象徵 しょうちょう 其通道長 みちなが 度 ど 減少 げんしょう ,讓 ゆずる 通 どおり 道 どう 的 てき 等 とう 效 こう 電 でん 阻也減少 げんしょう ,可 か 以讓更 さら 多 た 電流 でんりゅう 通過 つうか 。雖然通 どおり 道寬 みちひろ 度 ど 也可能 かのう 跟著變 へん 小 しょう 而讓通 どおり 道 みち 等 とう 效 こう 電 でん 阻變大 だい ,但 ただし 是 ぜ 如果能 のう 降 くだ 低 てい 單位 たんい 電 でん 阻的大小 だいしょう ,那 な 麼這個 こ 問題 もんだい 就可以解決 かいけつ 。
金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 的 てき 尺寸 しゃくすん 變 へん 小 しょう 意味 いみ 著 ちょ 閘極面積 めんせき 減少 げんしょう ,如此可 か 以降 いこう 低 ひく 等 とう 效 こう 的 てき 閘極電 でん 容 よう 。此外,越 えつ 小 しょう 的 てき 閘極通常 つうじょう 會 かい 有 ゆう 更 さら 薄 うす 的 てき 閘極氧化層 そう ,這可以讓前面 ぜんめん 提 ひっさげ 到 いた 的 てき 通 どおり 道 どう 單位 たんい 電 でん 阻值降 くだ 低 てい 。不 ふ 過 か 這樣的 てき 改變 かいへん 同時 どうじ 會 かい 讓 ゆずる 閘極電 でん 容 よう 反 はん 而變得 とく 較大,但 ただし 是 ぜ 和 わ 減少 げんしょう 的 てき 通 どおり 道 みち 電 でん 阻相比 ひ ,獲得 かくとく 的 てき 好 こう 處 しょ 仍然多 た 過 か 壞處,而金氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 在 ざい 尺寸 しゃくすん 縮小 しゅくしょう 後 ご 的 てき 切 せつ 換 かわ 速度 そくど 也會因 いん 為 ため 上面 うわつら 兩個 りゃんこ 因 いん 素 す 加 か 總 そう 而變快 かい 。
金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 的 てき 面積 めんせき 越 えつ 小 しょう ,製造 せいぞう 晶 あきら 片 へん 的 てき 成本 なりもと 就可以降 いこう 低 ひく ,在 ざい 同樣 どうよう 的 てき 封 ふう 裝 そう 裡 うら 可 か 以裝下 か 更 さら 高密度 こうみつど 的 てき 晶 あきら 片 へん 。一片積體電路製程使用的晶圓尺寸是固定的,所以 ゆえん 如果晶 あきら 片 かた 面積 めんせき 越 えつ 小 しょう ,同樣 どうよう 大小 だいしょう 的 てき 晶 あきら 圓 えん 就可以產出 さんしゅつ 更 さら 多 た 的 てき 晶 あきら 片 へん ,於是成本 なりもと 就變得 どく 更 さら 低 てい 了 りょう 。
尺寸 しゃくすん 縮小 しゅくしょう 的 てき 負 まけ 面 めん 效 こう 應 おう [ 编辑 ]
雖然金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 尺寸 しゃくすん 縮小 しゅくしょう 可 か 以帶來 らい 很多好 こう 處 しょ ,但 ただし 同時 どうじ 也有 やゆう 很多負 まけ 面 めん 效 こう 應 おう 伴 とも 隨 ずい 而來。
金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 的 てき 尺寸 しゃくすん 縮小 しゅくしょう 後 ご 出現 しゅつげん 的 てき 困難 こんなん
把 わ 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 的 てき 尺寸 しゃくすん 縮小 しゅくしょう 到 いた 一 いち 微 ほろ 米 べい 以下 いか 對 たい 於半導體 はんどうたい 製 せい 程 ほど 而言是 ぜ 個 こ 挑戰 ちょうせん ,不 ふ 過 か 現在 げんざい 的 てき 新 しん 挑戰 ちょうせん 多 た 半 はん 來 き 自 じ 尺寸 しゃくすん 越來 ごえく 越 えつ 小 しょう 的 てき 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 元 もと 件 けん 所帶 じょたい 來 らい 過去 かこ 不 ふ 曾出現 しゅつげん 的 てき 物理 ぶつり 效 こう 應 おう 。
次 じ 臨限傳導 でんどう
由 よし 於金氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 閘極氧化層 そう 的 てき 厚 あつ 度 たび 也不斷 ふだん 減少 げんしょう ,所以 ゆえん 閘極電壓 でんあつ 的 てき 上限 じょうげん 也隨之 の 變 へん 少 しょう ,以免過大 かだい 的 てき 電壓 でんあつ 造成 ぞうせい 閘極氧化層 そう 突崩潰 ほうかい (breakdown)。為 ため 了 りょう 維持 いじ 同樣 どうよう 的 てき 性能 せいのう ,金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 的 てき 臨界 りんかい 電壓 でんあつ 也必須降低 てい ,但 ただし 是 ぜ 這也造成 ぞうせい 了 りょう 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 越來 ごえく 越 えつ 難 なん 以完全 かんぜん 關 せき 閉。也就是 ぜ 說 せつ ,足 そく 以造成金 なりきん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 通 どおり 道 どう 區 く 發生 はっせい 弱 じゃく 反轉 はんてん 的 てき 閘極電壓 でんあつ 會 かい 比 ひ 從前 じゅうぜん 更 さら 低 ひく ,於是所謂 いわゆる 的 てき 亞 あ 閾值電流 でんりゅう (subthreshold current)造成 ぞうせい 的 てき 問題 もんだい 會 かい 比 ひ 過去 かこ 更 さら 嚴重 げんじゅう ,特別 とくべつ 是 ぜ 今日 きょう 的 てき 積 せき 體 たい 電路 でんろ 晶 あきら 片所 かたしょ 含有 がんゆう 的 てき 電 でん 晶 あきら 體 からだ 數量 すうりょう 劇 げき 增 ぞう ,在 ざい 某 ぼう 些超 ちょう 大型 おおがた 積 せき 體 たい 電路 でんろ 的 てき 晶 あきら 片 かた ,次 じ 臨限傳導 でんどう 造成 ぞうせい 的 てき 功 こう 率 りつ 消耗 しょうもう 竟然佔了總 そう 功 こう 率 りつ 消耗 しょうもう 的 てき 一半 いっぱん 以上 いじょう 。
不 ふ 過 か 反 はん 過 か 來 き 說 せつ ,也有 やゆう 些電路 ろ 設計 せっけい 會 かい 因 いん 為 ため 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 的 てき 次 つぎ 臨限傳導 でんどう 得 え 到 いた 好 こう 處 しょ ,例 れい 如需要 よう 較高的 てき 轉 てん 導 しるべ /電流 でんりゅう 轉換 てんかん 比 ひ (transconductance-to-current ratio)的 てき 電路 でんろ 裡 うら ,利用 りよう 次 じ 臨限傳導 でんどう 的 てき 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 たい 來 らい 達成 たっせい 目的 もくてき 的 てき 設計 せっけい 也頗為 ため 常見 つねみ 。
晶 あきら 片 かた 內部連接 れんせつ 導線 どうせん 的 てき 寄生 きせい 電 でん 容 よう 效 こう 應 おう
傳統 でんとう 上 じょう ,互補式 しき 金屬 きんぞく 氧化物 ぶつ 半導體 はんどうたい 邏輯閘的切 せつ 換 かわ 速度 そくど 與 あずか 其元件 けん 的 てき 閘極電 でん 容 よう 有 ゆう 關 せき 。但 ただし 是 ぜ 當 とう 閘極電 でん 容 よう 隨 ずい 著 ちょ 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 尺寸 しゃくすん 變 へん 小 しょう 而減少 げんしょう ,同樣 どうよう 大小 だいしょう 的 てき 晶 あきら 片上 かたがみ 可 か 容 よう 納 おさめ 更 さら 多 た 電 でん 晶 あきら 體 たい 時 じ ,連接 れんせつ 這些電 でん 晶 あきら 體 からだ 的 てき 金屬 きんぞく 導線 どうせん 間 あいだ 產 さん 生 せい 的 てき 寄生 きせい 電 でん 容 よう 效 こう 應 おう 就開始 かいし 主宰 しゅさい 邏輯閘的切 せつ 換 かわ 速度 そくど 。如何 いか 減少 げんしょう 這些寄生 きせい 電 でん 容 よう ,成 なり 了 りょう 晶 あきら 片 かた 效率 こうりつ 能否 のうひ 向上 こうじょう 突破 とっぱ 的 てき 關 せき 鍵 かぎ 之 の 一 いち 。
晶 あきら 片 かた 發熱 はつねつ 量 りょう 增加 ぞうか
當 とう 晶 あきら 片上 かたがみ 的 てき 電 でん 晶 あきら 體 からだ 數量 すうりょう 大幅 おおはば 增加 ぞうか 後 ご ,有 ゆう 一個無法避免的問題也跟著發生了,那 な 就是晶 あきら 片 へん 的 てき 發熱 はつねつ 量 りょう 也大幅 はば 增加 ぞうか 。一般 いっぱん 的 てき 積 せき 體 たい 電路 でんろ 元 もと 件 けん 在 ざい 高溫 こうおん 下 か 操作 そうさ 可能 かのう 會 かい 導 しるべ 致切換 かわ 速度 そくど 受到影響 えいきょう ,或 ある 是 ぜ 導 しるべ 致可靠 もたれ 度 ど 與 あずか 壽命 じゅみょう 的 てき 問題 もんだい 。在 ざい 一 いち 些發熱量 ねつりょう 非常 ひじょう 高 だか 的 てき 積 せき 體 たい 電路 でんろ 晶 あきら 片 かた 如微 ほろ 處理 しょり 器 き ,目前 もくぜん 需要 じゅよう 使用 しよう 外 がい 加 か 的 てき 散 ち 熱 ねつ 系統 けいとう 來 らい 緩和 かんわ 這個問題 もんだい 。
在 ざい 功 こう 率 りつ 電 でん 晶 あきら 體 たい (Power金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ )的 てき 領域 りょういき 裡 うら ,通 つう 道 どう 電 でん 阻常常會 じょうかい 因 いん 為 ため 溫度 おんど 升 ます 高 だか 而跟著 ちょ 增加 ぞうか ,這樣也使得 とく 在 ざい 元 もと 件 けん 中 ちゅう PN结 (pn-junction)導 しるべ 致的功 こう 率 りつ 損耗 そんこう 增加 ぞうか 。假設 かせつ 外 がい 置 おけ 的 てき 散 ち 熱 ねつ 系統 けいとう 無法 むほう 讓 ゆずる 功 こう 率 りつ 電 でん 晶 あきら 體 からだ 的 てき 溫度 おんど 保持 ほじ 在 ざい 夠低的 てき 水準 すいじゅん ,很有可能 かのう 讓 ゆずる 這些功 こう 率 りつ 電 でん 晶 あきら 體 からだ 遭到熱 ねつ 失 しつ 控 ひかえ 的 てき 命運 めいうん 。
閘極氧化層 そう 漏電 ろうでん 流 りゅう 增加 ぞうか
閘極氧化層 そう 隨 ずい 著 ちょ 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 尺寸 しゃくすん 變 へん 小 しょう 而越來 ごえく 越 えつ 薄 うす ,目前 もくぜん 主流 しゅりゅう 的 てき 半導體 はんどうたい 製 せい 程 ほど 中 ちゅう ,甚至已 やめ 經 けい 做出厚 あつ 度 たび 僅有1.2奈米 的 てき 閘極氧化層 そう ,大約 たいやく 等 とう 於5個 こ 原子 げんし 疊 たたみ 在 ざい 一起的厚度而已。在 ざい 這種尺度 しゃくど 下 か ,所有 しょゆう 的 てき 物理 ぶつり 現象 げんしょう 都 と 在 ざい 量子力學 りょうしりきがく 所 ところ 規範 きはん 的 てき 世界 せかい 內,例 れい 如電 じょでん 子 こ 的 てき 穿 ほじ 隧效應 おう 。因 よし 為 ため 穿 ほじ 隧效應 おう ,有 ゆう 些電子 でんし 有機 ゆうき 會 かい 越 こし 過 か 氧化層 そう 所 しょ 形成 けいせい 的 てき 位 くらい 能 のう 障壁 しょうへき (potential barrier)而產生 せい 漏電 ろうでん 流 りゅう ,這也是 ぜ 今日 きょう 積 せき 體 たい 電路 でんろ 晶 あきら 片 かた 功 こう 耗的來 らい 源 げん 之 の 一 いち 。
為 ため 了 りょう 解決 かいけつ 這個問題 もんだい ,有 ゆう 一 いち 些介電 でん 係數 けいすう 比 ひ 二 に 氧化矽更 さら 高 だか 的 てき 物質 ぶっしつ 被 ひ 用 もちい 在 ざい 閘極氧化層 そう 中 ちゅう 。例 れい 如鉿 和 わ 鋯 的 てき 金屬 きんぞく 氧化物 ぶつ (二 に 氧化鉿 、二 に 氧化鋯 )等 とう 高 だか 介 かい 電 でん 係數 けいすう 的 てき 物質 ぶっしつ 均 ひとし 能 のう 有效 ゆうこう 降 くだ 低 てい 閘極漏電 ろうでん 流 りゅう 。閘極氧化層 そう 的 てき 介 かい 電 でん 係數 けいすう 增加 ぞうか 後 ご ,閘極的 てき 厚 あつ 度 ど 便 びん 能增 のうます 加 か 而維持 いじ 一 いち 樣 よう 的 てき 電 でん 容 よう 大小 だいしょう 。而較厚 あつ 的 てき 閘極氧化層 そう 又 また 可 か 以降 いこう 低 てい 電子 でんし 透過 とうか 穿 ほじ 隧效應 おう 穿 ほじ 過 か 氧化層 そう 的 てき 機 き 率 りつ ,進 しん 而降低 てい 漏電 ろうでん 流 りゅう 。不 ふ 過 か 利用 りよう 新 しん 材料 ざいりょう 製作 せいさく 的 てき 閘極氧化層 そう 也必須 ひっす 考慮 こうりょ 其位能 のう 障壁 しょうへき 的 てき 高度 こうど ,因 いん 為 ため 這些新 しん 材料 ざいりょう 的 てき 傳導 でんどう 帶 たい 和 わ 價 あたい 帶 たい 和 かず 半導體 はんどうたい 的 てき 傳導 でんどう 帶 たい 與 あずか 價 あたい 帶 たい 的 てき 差 さ 距比二 に 氧化矽小 しょう (二氧化矽的傳導帶和矽之間的高度差約為8ev ),所以 ゆえん 仍然有 ゆう 可能 かのう 導 しるべ 致閘極 きょく 漏電 ろうでん 流 りゅう 出現 しゅつげん 。
製 せい 程 ほど 變異 へんい 更 さら 難 なん 掌 てのひら 控 ひかえ
現代 げんだい 的 てき 半導體 はんどうたい 製 せい 程 ほど 工 こう 序 じょ 複雜 ふくざつ 而繁多 はんた ,任 にん 何 なん 一道 いちどう 製 せい 程 ほど 都 みやこ 有 ゆう 可能 かのう 造成 ぞうせい 積 せき 體 たい 電路 でんろ 晶 あきら 片上 かたがみ 的 てき 元 もと 件 けん 產 さん 生 せい 些微變異 へんい 。當 とう 金 かね 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 等 とう 元 もと 件 けん 越 えつ 做越小 しょう ,這些變異 へんい 所 しょ 佔的比例 ひれい 就可能 かのう 大幅 おおはば 提 ひさげ 升 ます ,進 しん 而影響 えいきょう 電路 でんろ 設計 せっけい 者 しゃ 所 しょ 預 あずか 期 き 的 てき 效能 こうのう ,這樣的 てき 變異 へんい 讓 ゆずる 電路 でんろ 設計 せっけい 者 しゃ 的 てき 工作 こうさく 變 へん 得 どく 更 さら 為 ため 困難 こんなん 。
金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 的 てき 閘極材料 ざいりょう [ 编辑 ]
理論 りろん 上 うえ 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 的 てき 閘極應 おう 該儘可能 かのう 選擇 せんたく 電 でん 性 せい 良好 りょうこう 的 てき 導體 どうたい ,多 た 晶 あきら 矽在 ざい 經過 けいか 重 じゅう 摻雜之 これ 後 ご 的 てき 導電性 どうでんせい 可 か 以用在 ざい 金 かね 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 的 てき 閘極上 じょう ,但 ただし 是 ぜ 並 なみ 非 ひ 完 かん 美的 びてき 選擇 せんたく 。目前 もくぜん 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 使用 しよう 多 た 晶 あきら 矽作為 さくい 的 てき 理由 りゆう 如下:
金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 的 てき 臨界 りんかい 電壓 でんあつ (threshold voltage)主要 しゅよう 由 よし 閘極與 あずか 通 つう 道 どう 材料 ざいりょう 的 てき 功 こう 函數 かんすう 之 これ 間 あいだ 的 てき 差異 さい 來 らい 決定 けってい ,而因為 ため 多 た 晶 あきら 矽本質 しつ 上 じょう 是 ぜ 半導體 はんどうたい ,所以 ゆえん 可 か 以藉由 よし 摻雜不同 ふどう 極性 きょくせい 的 てき 雜 ざつ 質 しつ 來 らい 改變 かいへん 其功函數 かんすう 。更 さら 重要 じゅうよう 的 てき 是 ぜ ,因 よし 為 ため 多 た 晶 あきら 矽和 かず 底 そこ 下 か 作為 さくい 通 どおり 道 どう 的 てき 矽 之 これ 間 あいだ 能 のう 隙 すき 相 しょう 同 どう ,因 いん 此在降 くだ 低 てい PMOS或 ある 是 ぜ NMOS的 てき 臨界 りんかい 電壓 でんあつ 時 じ 可 か 以藉由 よし 直接 ちょくせつ 調整 ちょうせい 多 た 晶 あきら 矽的 てき 功 こう 函數 かんすう 來 らい 達成 たっせい 需求。反 はん 過 か 來 き 說 せつ ,金屬 きんぞく 材料 ざいりょう 的 てき 功 こう 函數 かんすう 並 なみ 不 ふ 像 ぞう 半導體 はんどうたい 那 な 麼易於改變 かいへん ,如此一來要降低金氧半場效電晶體的臨界電壓就變得比較困難。而且如果想 おもえ 要 よう 同時 どうじ 降 くだ 低 てい PMOS和 わ NMOS的 てき 臨界 りんかい 電壓 でんあつ ,將 はた 需要 じゅよう 兩 りょう 種 たね 不同 ふどう 的 てき 金屬 きんぞく 分別 ふんべつ 做其閘極材料 ざいりょう ,對 たい 於製程 ほど 又 また 是 ぜ 一 いち 個 こ 很大的 てき 變數 へんすう 。
矽 —二 に 氧化矽接 せっ 面 めん 經過 けいか 多年 たねん 的 てき 研究 けんきゅう ,已 やめ 經 けい 證 しょう 實 じつ 這兩種 しゅ 材料 ざいりょう 之 の 間 あいだ 的 てき 缺陷 けっかん (defect)是 ぜ 相對 そうたい 而言比較 ひかく 少 しょう 的 てき 。反 はん 之 これ ,金屬 きんぞく —絕緣 ぜつえん 體 たい 接 せっ 面 めん 的 てき 缺陷 けっかん 多 た ,容易 ようい 在 ざい 兩者 りょうしゃ 之 の 間 あいだ 形成 けいせい 很多表面 ひょうめん 能 のう 階 かい ,大 だい 為 ため 影響 えいきょう 元 もと 件 けん 的 てき 特性 とくせい 。
多 た 晶 あきら 矽的 てき 熔點比 ひ 大 だい 多數 たすう 的 てき 金屬 きんぞく 高 だか ,而在現代 げんだい 的 てき 半導體 はんどうたい 製 せい 程 ほど 中 ちゅう 習慣 しゅうかん 在 ざい 高溫 こうおん 下 か 沉積閘極材料 ざいりょう 以增進 ぞうしん 元 もと 件 けん 效能 こうのう 。金屬 きんぞく 的 てき 熔點低 てい ,將 しょう 會 かい 影響 えいきょう 製 せい 程 ほど 所 しょ 能 のう 使用 しよう 的 てき 溫度 おんど 上限 じょうげん 。
不 ふ 過多 かた 晶 あきら 矽雖然 しか 在 ざい 過去 かこ 20年 ねん 是 ぜ 製造 せいぞう 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 閘極的 てき 標準 ひょうじゅん ,但 ただし 也有 やゆう 若干 じゃっかん 缺點 けってん 使 し 得 とく 未來 みらい 仍然有 ゆう 部 ぶ 份金氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 たい 可能 かのう 使用 しよう 金屬 きんぞく 閘極,這些缺點 けってん 如下:
多 た 晶 あきら 矽導電性 どうでんせい 不 ふ 如金屬 きんぞく ,限 げん 制 せい 了 りょう 訊號傳 でん 遞的速度 そくど 。雖然可 か 以利用 りよう 摻雜的 てき 方式 ほうしき 改善 かいぜん 其導電性 どうでんせい ,但 ただし 成 なり 效 こう 仍然有限 ゆうげん 。目前 もくぜん 有 ゆう 些融點 てん 比較 ひかく 高 だか 的 てき 金屬 きんぞく 材料 ざいりょう 如:鎢 、鈦 、鈷 或 ある 是 ぜ 鎳 被 ひ 用 もちい 來 らい 和 わ 多 た 晶 あきら 矽製 せい 成合 なれあい 金 きん 。這類混合 こんごう 材料 ざいりょう 通常 つうじょう 稱 たたえ 為 ため 金屬 きんぞく 矽化物 ぶつ 。加 か 上 うえ 了 りょう 金屬 きんぞく 矽化物的 ぶってき 多 た 晶 あきら 矽閘極 ごく 有 ゆう 著 ちょ 比較 ひかく 好 このみ 的 てき 導 しるべ 電 でん 特性 とくせい ,而且又 また 能 のう 夠耐受高溫 こうおん 製 せい 程 ほど 。此外因 がいいん 為 ため 金屬 きんぞく 矽化物的 ぶってき 位置 いち 是 ぜ 在 ざい 閘極表面 ひょうめん ,離 はなれ 通 どおり 道 どう 區 く 較遠,所以 ゆえん 也不會 かい 對 たい 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 的 てき 臨界 りんかい 電壓 でんあつ 造成 ぞうせい 太 ふと 大 だい 影響 えいきょう 。
在 ざい 閘極、源 みなもと 極 ごく 與 あずか 汲極都 と 鍍上金屬 きんぞく 矽化物的 ぶってき 製 せい 程 ほど 稱 たたえ 為 ため 自我 じが 對 たい 準 じゅん 金屬 きんぞく 矽化物 ぶつ 製 せい 程 ほど (Self-Aligned Silicide),通常 つうじょう 簡稱salicide 製 せい 程 ほど 。
當 とう 金 かね 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 的 てき 尺寸 しゃくすん 縮 ちぢみ 的 てき 非常 ひじょう 小 しょう 、閘極氧化層 そう 也變得 どく 非常 ひじょう 薄 うす 時 じ ,例 れい 如現在 げんざい 的 てき 製 せい 程 ほど 可 か 以把氧化層 そう 縮 ちぢみ 到 いた 一 いち 奈米 左右 さゆう 的 てき 厚 あつ 度 たび ,一種過去沒有發現的現象也隨之產生,這種現象 げんしょう 稱 たたえ 為 ため 多 た 晶 あきら 矽空乏 とぼし 。當 とう 金 かね 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 的 てき 反轉 はんてん 層 そう 形成 けいせい 時 じ ,有 ゆう 多 た 晶 あきら 矽空乏 とぼし 現象 げんしょう 的 てき 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 閘極多 た 晶 あきら 矽靠近 きん 氧化層 そう 處 しょ ,會 かい 出現 しゅつげん 一 いち 個 こ 空 むなし 乏 とぼし 層 そう (depletion layer),影響 えいきょう 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 導通 どうつう 的 てき 特性 とくせい 。要 よう 解決 かいけつ 這種問題 もんだい ,金屬 きんぞく 閘極是 ぜ 最 さい 好 このみ 的 てき 方案 ほうあん 。目前 もくぜん 可 か 行 ぎょう 的 てき 材料 ざいりょう 包括 ほうかつ 鉭 、鎢 、氮化鉭 (Tantalum Nitride),或 ある 是 ぜ 氮化鈦 (Titanium Nitride)。這些金屬 きんぞく 閘極通 どおり 常和 ときわ 高 だか 介 かい 電 でん 係數 けいすう 物質 ぶっしつ 形成 けいせい 的 てき 氧化層 そう 一 いち 起 おこり 構成 こうせい MOS電 でん 容 よう 。另外一種解決方案是將多晶矽完全的合金化,稱 しょう 為 ため FUSI(FUlly-SIlicide polysilicon gate)製 せい 程 ほど 。
各種 かくしゅ 常見 つねみ 的 てき 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 技術 ぎじゅつ [ 编辑 ]
雙 そう 閘極金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ [ 编辑 ]
雙 そう 閘極(dual-gate)金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 通 どおり 常用 じょうよう 在 ざい 射 い 頻 しき 積 せき 體 たい 電路 でんろ 中 なか ,這種金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 的 てき 兩個 りゃんこ 閘極都 と 可 か 以控制 せい 電流 でんりゅう 大小 だいしょう 。在 ざい 射 い 頻 しき 電路 でんろ 的 てき 應用 おうよう 上 じょう ,雙 そう 閘極金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 的 てき 第 だい 二個閘極大多數用來做增益、混 こん 頻 しき 器 うつわ 或 ある 是 ぜ 頻 しき 率 りつ 轉換 てんかん 的 てき 控 ひかえ 制 せい 。
空 そら 乏 とぼし 式 しき MOSFETS[ 编辑 ]
一般 いっぱん 而言,空 そら 乏 とぼし 式 しき (depletion mode)金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 比 ひ 前述 ぜんじゅつ 的 てき 加 か 強 きょう 式 しき (enhancement mode)金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 少 しょう 見 み 。空 そら 乏 とぼし 式 しき 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 在 ざい 製造 せいぞう 過程 かてい 中 ちゅう 改變 かいへん 摻雜到 いた 通 つう 道 どう 的 てき 雜 ざつ 質 しつ 濃度 のうど ,使 つかい 得 とく 這種金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 的 てき 閘極就算沒 ぼつ 有加 ゆか 電壓 でんあつ ,通 つう 道 どう 仍然存在 そんざい 。如果想 おもえ 要 よう 關 せき 閉通道 どう ,則 のり 必須 ひっす 在 ざい 閘極施 ほどこせ 加 か 負 ふ 電壓 でんあつ (對 たい NMOS而言)。空 そら 乏 とぼし 式 しき 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 是 ぜ 屬 ぞく 於「常 つね 閉型」(normally-closed,ON)的 てき 開 ひらき 關 せき ,而相對 たい 的 てき ,加 か 強 きょう 式 しき 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 則 そく 屬 ぞく 於「常 つね 斷 だん 型 がた 」(normally-open,OFF)的 てき 開 ひらき 關 せき 。
NMOS邏輯 [ 编辑 ]
同樣 どうよう 驅動 くどう 能力 のうりょく 的 てき NMOS通常 つうじょう 比 ひ PMOS所 しょ 佔用的 てき 面積 めんせき 小 しょう ,因 いん 此如果 はて 只 ただ 在 ざい 邏輯閘的設計 せっけい 上 じょう 使用 しよう NMOS的 てき 話 ばなし 也能縮小 しゅくしょう 晶 あきら 片 かた 面積 めんせき 。不 ふ 過 か NMOS邏輯雖然佔的面積 めんせき 小 しょう ,卻無法 ほう 像 ぞう CMOS邏輯一樣做到不消耗靜態功率,因 いん 此在1980年代 ねんだい 中期 ちゅうき 後 ご 已 やめ 經 けい 漸 やや 漸 やや 退出 たいしゅつ 市場 いちば ,目前 もくぜん 以CMOS為 ため 主流 しゅりゅう 。
功 こう 率 りつ 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ [ 编辑 ]
功 こう 率 りつ 電 でん 晶 あきら 體 からだ 單元 たんげん 的 てき 截面圖 ず 。通常 つうじょう 一個市售的功率電晶體都包含了數千個這樣的單元。
功 こう 率 りつ 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 たい (Power MOSFET)和 かず 前述 ぜんじゅつ 的 てき 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 元 もと 件 けん 在 ざい 結構 けっこう 上 じょう 就有著 ちょ 顯著 けんちょ 的 てき 差異 さい 。一般 いっぱん 積 せき 體 たい 電路 でんろ 裡 うら 的 てき 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 都 と 是 ぜ 平面 へいめん 式 しき (planar)的 てき 結構 けっこう ,電 でん 晶 あきら 體 からだ 內的各 かく 端點 たんてん 都 と 離 はなれ 晶 あきら 片 かた 表面 ひょうめん 只 ただ 有 ゆう 幾 いく 個 こ 微 ほろ 米 べい 的 てき 距離 きょり 。而所有 しょゆう 的 てき 功 こう 率 りつ 元 もと 件 けん 都 と 是 ぜ 垂直 すいちょく 式 しき (vertical)的 てき 結構 けっこう ,讓 ゆずる 元 もと 件 けん 可 か 以同時 じ 承 うけたまわ 受高電壓 でんあつ 與 あずか 高 こう 電流 でんりゅう 的 てき 工作 こうさく 環境 かんきょう 。一 いち 個 こ 功 こう 率 りつ 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 能 のう 耐 たい 受的電壓 でんあつ 是 ぜ 雜 ざつ 質 しつ 摻雜濃度 のうど 與 あずか n-type磊晶層 そう (epitaxial layer)厚 あつ 度 ど 的 てき 函數 かんすう ,而能通過 つうか 的 てき 電流 でんりゅう 則和 のりかず 元 もと 件 けん 的 てき 通 どおり 道寬 みちひろ 度 ど 有 ゆう 關 せき ,通 つう 道 どう 越 こし 寬 ひろし 則 のり 能 のう 容 よう 納 おさめ 越 えつ 多 た 電流 でんりゅう 。對 たい 於一個平面結構的金氧半場效電晶體而言,能 のう 承 うけたまわ 受的電流 でんりゅう 以及崩潰 ほうかい 電壓 でんあつ 的 てき 多寡 たか 都和 つわ 其通道 どう 的 てき 長 ちょう 寬大 かんだい 小 しょう 有 ゆう 關 せき 。對 たい 垂直 すいちょく 結構 けっこう 的 てき 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 たい 來 らい 說 せつ ,元 もと 件 けん 的 てき 面積 めんせき 和 わ 其能容 よう 納 おさめ 的 てき 電流 でんりゅう 大約 たいやく 成 なり 正 せい 比 ひ ,磊晶層 そう 厚 あつ 度 ど 則和 のりかず 其崩潰 ほうかい 電壓 でんあつ 成 なり 正 せい 比 ひ 。
值得一 いち 提 ひさげ 的 てき 是 ぜ 採用 さいよう 平面 へいめん 式 しき 結構 けっこう 的 てき 功 こう 率 りつ 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 也並非 ひ 不 ふ 存在 そんざい ,這類元 もと 件 けん 主要 しゅよう 用 よう 在 ざい 高級 こうきゅう 的 てき 音響 おんきょう 放 ひ 大器 たいき 中 ちゅう 。平面 へいめん 式 しき 的 てき 功 こう 率 りつ 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 在 ざい 飽和 ほうわ 區 く 的 てき 特性 とくせい 比 ひ 垂直 すいちょく 結構 けっこう 的 てき 對 たい 手 しゅ 更 さら 好 このみ 。垂直 すいちょく 式 しき 功 こう 率 りつ 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 則 そく 多 た 半 はん 用 よう 來 らい 做開關 せき 切 せつ 換 かわ 之 これ 用 よう ,取 と 其導通電 つうでん 阻(turn-on resistance)非常 ひじょう 小 しょう 的 てき 優 ゆう 點 てん 。
DMOS [ 编辑 ]
DMOS是 ぜ 雙 そう 重 じゅう 擴散 かくさん 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 たい (Double-Diffused金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ )的 てき 縮寫 しゅくしゃ ,大 だい 部分 ぶぶん 的 てき 功 こう 率 りつ 金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 都 と 是 ぜ 採用 さいよう 這種製作 せいさく 方式 ほうしき 完成 かんせい 的 てき 。
以金氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 實現 じつげん 類比 るいひ 開 ひらけ 關 せき [ 编辑 ]
金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 在 ざい 導通 どうつう 時 じ 的 てき 通 どおり 道 みち 電 でん 阻低,而截止 どめ 時 じ 的 てき 電 でん 阻近乎無限 げん 大 だい ,所以 ゆえん 適合 てきごう 作為 さくい 類比 るいひ 訊號的 てき 開 ひらき 關 せき (訊號的 てき 能 のう 量 りょう 不 ふ 會 かい 因 いん 為 ため 開 ひらき 關 せき 的 てき 電 でん 阻而損失 そんしつ 太 ふと 多 た )。金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 作為 さくい 開 ひらけ 關 せき 時 じ ,其源極 ごく 與 あずか 汲極的 てき 分別 ふんべつ 和 わ 其他的 てき 應用 おうよう 是 ぜ 不 ふ 太 ふとし 相 しょう 同 どう 的 てき ,因 いん 為 ため 訊號可 か 以從金 きん 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 閘極以外 いがい 的 てき 任 にん 一 いち 端 はし 進出 しんしゅつ 。對 たい NMOS開 ひらき 關 せき 而言,電壓 でんあつ 最 さい 負 まけ 的 てき 一 いち 端 はし 就是源 げん 極 ごく ,PMOS則 のり 正 ただし 好 こう 相反 あいはん ,電壓 でんあつ 最 さい 正 せい 的 てき 一 いち 端 はし 是 ぜ 源 げん 極 ごく 。金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 開 ひらき 關 せき 能 のう 傳 でん 輸的訊號會 かい 受到其閘極 きょく —源 げん 極 ごく 、閘極—汲極,以及汲極到 いた 源 みなもと 極 きょく 的 てき 電壓 でんあつ 限 げん 制 せい ,如果超過 ちょうか 了 りょう 電壓 でんあつ 的 てき 上限 じょうげん 可能 かのう 會 かい 導 しるべ 致金氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 燒 しょう 毀。
金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 開 ひらき 關 せき 的 てき 應用 おうよう 範圍 はんい 很廣,舉凡需要 じゅよう 用 よう 到 いた 取 と 樣 よう 保持 ほじ 電路 でんろ (sample-and-hold circuits)或 ある 是 ぜ 截波電路 でんろ (chopper circuits)的 てき 設計 せっけい ,例 れい 如類比 ひ 數 すう 位 い 轉換 てんかん 器 き (A/D converter)或 ある 是 ぜ 切 せつ 換 かわ 電 でん 容 よう 濾波器 き (switch-capacitor filter)上 じょう 都 と 可 か 以見到 いた 金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 からだ 開 ひらき 關 せき 的 てき 蹤影。
單 たん 一金氧半場效電晶體開關[ 编辑 ]
當 とう NMOS用 よう 來 らい 做開關 せき 時 じ ,其源極 きょく 接地 せっち ,閘極為 ため 控 ひかえ 制 せい 開 ひらき 關 せき 的 てき 端點 たんてん 。當 とう 閘極電壓 でんあつ 減 げん 去 さ 源 みなもと 極 きょく 電壓 でんあつ 超過 ちょうか 其導通 どおり 的 てき 臨界 りんかい 電壓 でんあつ 時 じ ,此開關 せき 的 てき 狀態 じょうたい 為 ため 導通 どうつう 。閘極電壓 でんあつ 繼續 けいぞく 升 ます 高 だか ,則 のり NMOS能 のう 通過 つうか 的 てき 電流 でんりゅう 就更大 だい 。NMOS做開關 せき 時 じ 操作 そうさ 在 ざい 線 せん 性 せい 區 く ,因 いん 為 ため 源 げん 極 ごく 與 あずか 汲極的 てき 電壓 でんあつ 在 ざい 開 ひらき 關 せき 為 ため 導通 どうつう 時 じ 會 かい 趨向 すうこう 一致 いっち 。
PMOS做開關 せき 時 じ ,其源極 きょく 接 せっ 至 いたり 電路 でんろ 裡 うら 電位 でんい 最高 さいこう 的 てき 地方 ちほう ,通常 つうじょう 是 ぜ 電源 でんげん 。閘極的 てき 電壓 でんあつ 比 ひ 源 げん 極 ごく 低 ひく 、超過 ちょうか 其臨界 かい 電壓 でんあつ 時 じ ,PMOS開 ひらき 關 せき 會 かい 打開 だかい 。
NMOS開 ひらき 關 せき 能 のう 容 よう 許 もと 通過 つうか 的 てき 電壓 でんあつ 上限 じょうげん 為 ため (Vgate -Vthn ),而PMOS開 ひらき 關 せき 則 そく 為 ため (Vgate +Vthp ),這個值通常 つうじょう 不 ふ 是 ぜ 訊號原本 げんぽん 的 てき 電壓 でんあつ 振幅 しんぷく ,也就是 ぜ 說 せつ 單 たん 一金氧半場效電晶體開關會有讓訊號振幅變小、訊號失 しつ 真 しん 的 てき 缺點 けってん 。
雙 そう 重 じゅう (互補式 しき )金 きむ 氧半場 じょう 效 こう 電 でん 晶 あきら 體 たい (CMOS, Complementary MOS)開 ひらき 關 せき [ 编辑 ]
為 ため 了 りょう 改善 かいぜん 前述 ぜんじゅつ 單 たん 一金氧半場效電晶體開關造成訊號失真的缺點,於是使用 しよう 一 いち 個 こ PMOS加 か 上 じょう 一 いち 個 こ NMOS的 てき CMOS開 ひらき 關 せき (Transmission gate)成 なり 為 ため 目前 もくぜん 最 さい 普遍 ふへん 的 てき 做法。CMOS開 ひらけ 關 せき 將 すすむ PMOS與 あずか NMOS的 てき 源 げん 極 ごく 與 あずか 汲極分別 ふんべつ 連接 れんせつ 在 ざい 一起 かずき ,而基極 きょく 的 てき 接 せっ 法 ほう 則和 のりかず NMOS與 あずか PMOS的 てき 傳統 でんとう 接 せっ 法相 ほうしょう 同 どう (PMOS的 てき 基 もと 極 きょく 接 せっ 到 いた 最高 さいこう 電壓 でんあつ ,即 そく VDD;NMOS的 てき 基 もと 極 きょく 接 せっ 到 いた 最低 さいてい 電壓 でんあつ ,即 そく VSS或 ある GND)。要 よう 令 れい 開 ひらき 關 せき 導通 どうつう 時 じ ,則 のり 把 わ PMOS的 てき 閘極接 せっ 低 てい 電位 でんい (VSS或 ある GND),NMOS的 てき 閘極接 せっ 高 だか 電位 でんい (VDD)。當 とう 輸入 ゆにゅう 電壓 でんあつ 在 ざい (VDD -Vthn )到 いた (VSS +Vthp )時 じ ,PMOS與 あずか NMOS都 と 導通 どうつう ,而輸入 ゆにゅう 小 しょう 於(VSS +Vthp )時 じ ,只 ただ 有 ゆう NMOS導通 どうつう ,輸入 ゆにゅう 大 だい 於(VDD -Vthn )時 じ 只 ただ 有 ゆう PMOS導通 どうつう ,這樣做的好 こう 處 しょ 是 ぜ 在 ざい 大 だい 部分 ぶぶん 的 てき 輸入 ゆにゅう 電壓 でんあつ 下 か ,PMOS與 あずか NMOS皆 みな 同時 どうじ 導通 どうつう ,如果任 にん 一邊的導通電阻上升,則 のり 另一邊的導通電阻就會下降,所 しょ 以開關 せき 的 てき 電 でん 阻幾乎可以保持 ほじ 定 てい 值,減少 げんしょう 訊號失 しつ 真 しん 。
参考 さんこう 文献 ぶんけん [ 编辑 ]
引用 いんよう [ 编辑 ]
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^
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来 らい 源 みなもと [ 编辑 ]
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外部 がいぶ 連結 れんけつ [ 编辑 ]